Способ получения высокочистого поликристаллического кремния - RU2018137312A

1. Способ получения поликристаллического кремния водородным восстановлением трихлорсилана на кремниевые стержни-основы включающий 1) приготовление исходной парогазовой смеси в испарителе барботированием водорода через слой трихлорсилана, 2) разделение компонентов отходящей из реактора восстановления парогазовой смеси, 3) конденсацию и ректификацию трихлорсилана и тетрахлорида кремния с возвратом трихлорсилана на стадию приготовления парогазовой смеси для восстановления кремния, 4) синтез трихлорсилана из тетрахлорида кремния с 5) рециркуляцией его на стадию приготовления парогазовой смеси для восстановления кремния,

отличающийся тем, что отделение хлористого водорода от отходящей из реактора восстановления парогазовой смеси проводят в реакторе гидрохлорирования технического кремния; отделение водорода из смеси с хлорсиланами, с возвратом его в технологический цикл, проводят на полимерных мембранах; синтез трихлорсилана из тетрахлорида кремния осуществляют плазмохимическим способом.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что хлористый водород, содержащийся в отходящей из реактора восстановления парогазовой смеси утилизируют в реакторе - утилизаторе, переводя его в трихлорсилан и тетрахлорид кремния в соотношении 50%/50%.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что ПГС, поступающая на отделение водорода из смеси с хлорсиланами состоит из водорода, трихлорилана и тетрахлорида кремния.

4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что отделение водорода из смеси водорода, трихлорсилана и тетрахлорида кремния осуществляют на полимерных мембранах при разности давлений 8 атм, что снижает энергетические затраты на отделение водорода из смеси с хлорсиланами.

5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что конденсацию ПГС, состоящей из трихлорсилана и тетрахлорида кремния осуществляют при температуре 2-10°С.

6. Способ по п. 1, отличающийся тем, что конверсия тетрахлорида кремния до трихлорсилана с выходом 50% осуществляется в плазмохимическом реакторе в высокочастотном разряде атмосферного давления, в процессе чего происходит снижение углеродсодержащих примесей.