Катриджный реактор для производства материалов посредством процесса химического осаждения паров - RU2014103710A

Реферат

1. Способ производства материалов посредством процесса химического осаждения паров, в котором:a. обеспечивают контейнер, который может быть герметизирован от окружающего свободного пространства,b. обеспечивают поверхности осаждения, которые могут быть нагреты и которые могут быть размещены внутри контейнера,c. обеспечивают течение газовой смеси осаждения в контейнер, в то же время, предотвращая течение газовой смеси осаждения в свободное пространство, окружающее контейнер,d. обеспечивают течение отводимого газа из контейнера, в то же время, предотвращая течение отводимого газа в свободное пространство, окружающее контейнер,e. размещают поверхности осаждения внутри контейнера, герметизируют контейнер от окружающего свободного пространства, нагревают поверхности осаждения, обеспечивают течение газовой смеси осаждения в контейнер и обеспечивают течение отводимого газа из контейнера так, что осаждают корки материала на поверхностях осаждения и, по существу, заполняют свободный объем контейнера,f. останавливают и продувают поток газовой смеси осаждения внутрь контейнера, и продолжают производственный цикл любым из следующих путей:i. в случае, если поверхности осаждения выполнены из того же материала, что и осажденный материал, просто осуществляют разгерметизацию контейнера и извлекают контейнер, по существу, заполненный корками материала, для дальнейшей обработки,ii. в случае, если поверхности осаждения выполнены из материала или комбинации материалов с более высокой температурой плавления, чем у производимого материала, и необходимо получить твердый продукт:1. Дополнительно нагревают поверхности осаж�