Реактор для получения поликристаллического кремния с использованием моносиланового метода - RU2011133927A

Реферат

1. Реактор (10) для получения поликристаллического кремния с использованием моносиланового метода, содержащий днище (2), в котором имеется множество форсунок (4), через которые в реактор поступает кремнийсодержащий газ, множество также установленных на днище (2) реактора стержней (6) и находящееся на расстоянии от форсунок (4) выпускное отверстие (8) для газа, предназначенное для подачи отработанного моносилана для обогащения и/или переработки, отличающийся тем, что выпускное отверстие (8) для газа расположено на свободном конце (21) внутренней трубы (20), и тем, что внутренняя труба (20) проходит через днище (2) реактора, причем внутренняя труба (20) содержит наружную стенку (20а) и внутреннюю стенку (20i), за счет чего образуется промежуточное пространство, в котором имеется по меньшей мере один циркуляционный контур (71) охлаждающей воды.2. Реактор (10) по п.1, отличающийся тем, что внутренняя труба (20) расположена в центре (3) днища (2) реактора, и что множество выпускных отверстий (4) для газа и держателей для стержней (6), расположенных в днище (2) реактора, окружают внутреннюю трубу (20).3. Реактор по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере один циркуляционный контур (71) охлаждающей воды, имеющийся в промежуточном пространстве внутренней трубы (20), обеспечивает примерно одинаковую технологическую температуру стержней (6).4. Реактор по п.1, отличающийся тем, что внутренняя труба (20) является двустенной.5. Реактор по п.1, отличающийся тем, что реактор (10) и днище (2) реактора представляют собой двухстенную рубашку, состоящую из внутренней стенки (9i) и наружной стенки (9а), и что в двухстенной рубашке содержится вода, предназначенная для охлаждения.6. Реак�