Реактор для поликристаллического кремния и способ получения поликристаллического кремния - RU2008137427A

Реферат

1. Реактор для поликристаллического кремния, в котором кремниевый затравочный стержень, установленный внутри реактора, нагревается посредством подачи электричества, причем газообразный исходный материал, подаваемый внутри реактора, имеет возможность вызывать реакцию, таким образом получая поликристаллический кремний на поверхности кремниевого затравочного стержня, ! при этом реактор для поликристаллического кремния содержит: патрубок для подачи газообразного исходного материала, установленный в нижней части реактора; и сопло для подачи газообразного исходного материала, которое проходит снизу вверх и которое крепится к патрубку для подачи газообразного исходного материала, обеспечивая соединение с возможностью сообщения, при этом верхний край сопла для подачи газообразного исходного материала устанавливается на высоте в пределах от -10 см до +5 см по отношению к верхнему краю электрода, который удерживает кремниевый затравочный стержень. ! 2. Реактор по п.1, в котором верхний край сопла для подачи газообразного исходного материала устанавливается на высоте в пределах от -5 см до +1 см по отношению к верхнему краю электрода, который удерживает кремниевый затравочный стержень. ! 3. Реактор по п.1, в котором сопло для подачи газообразного исходного материала имеет сужающуюся цилиндрическую форму, имеющую наружную круговую боковую поверхность, которая уменьшается в диаметре при приближении к его верхнему краю. ! 4. Реактор по п.1, в котором сопло для подачи газообразного исходного материала содержит главный корпус сопла и головку сопла, которая устанавливается на кончике главного корпуса сопла съемным образом