Код документа: RU2171010C2
Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано в устройствах частотной селекции сигналов в мобильных системах связи, радиотелефонах, радиоудлинителях и т.д.
Известен фильтр на поверхностных акустических волнах (ПАВ), содержащий пьезоэлектрическую подложку, на рабочей поверхности которой размещены входной и выходной встречно-штыревые преобразователи (ВШП) [1, стр. 187]. При этом ВШП имеют регулярную решетку противофазных электродов с постоянным периодом P. В регулярном ВШП период P равен длине волны λ, соответствующей частоте акустического синхронизма или средней частоте fo= V/P = V/λ, где V - скорость ПАВ. С целью повышения избирательности один из преобразователей может быть выполнен со взвешиванием перекрытия электродов [1, стр. 187], а второй - со взвешиванием путем селективного удаления электродов [1, стр.205] .
Недостатком известного фильтра на ПАВ [1] являются большие искажения Δα и ΔΦ амплитудно-частотной и фазочастотной характеристик (АЧХ и ФЧХ) в полосе пропускания, обусловленные сигналом тройного прохождения (СТП). СТП в свою очередь вызван отражением ПАВ сначала от электродов выходного ВШП, а затем - от электродов входного ВШП [1, стр. 172-175].
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является фильтр на ПАВ, содержащий пьезоэлектрическую подложку 1, на рабочей поверхности которой размещены входной 2 и выходной 3 преобразователи, образованные перекрывающимися противофазными электродами 4. С целью подавления СТП в широкой полосе частот входной 2 и выходной 3 преобразователи выполнены веерными, то есть противофазные возбуждающие электроды 4 каждого из преобразователей размещены под углом α по направлению распространения ПАВ (фиг. 1а). При этом в каждом преобразователе 2, 3 угол α наклона электродов изменяется влево и вправо от центра преобразователя от α = 0° до α = ±αmax, где αmax< 10-15°, а период электродов Pi , и ширины электродов bi, изменяются вдоль апертур WI, и WO входного и выходного преобразователя соответственно от Pmin до Pmax и от bmin до bmax [2, фиг. 1]. Для обеспечения однонаправленности излучения ПАВ в преобразователи 2, 3 могут быть введены отражающие электроды 5 (фиг. 1б). Характерной особенностью фильтров на ПАВ с использованием веерных преобразователей является нежелательный наклон АЧХ в полосе пропускания [3, фиг. 6] , компенсировать который приходится за счет применения изогнутых электродов [2, фиг. 1a].
Основным недостатком известного фильтра является сложность его изготовления. Оборудование для изготовления фотошаблонов (оптические генераторы изображения, электронно-лучевые установки и т.д.) имеет дискретное перемещение исполнительных механизмов. Поэтому при изготовлении фотошаблонов наклонные электроды приходится разбивать на 500-1000 фрагментов, что пропорционально увеличивает число фото-экспозиций оборудования и увеличивает время изготовления фотошаблона до 8-12 часов.
Необходимость использования криволинейных электродов еще более усложняет изготовление фотошаблона.
Другим недостатком известного фильтра на ПАВ является низкая точность воспроизведения заданных частотных характеристик: большие искажения Δα и ΔΦ заданных АЧХ и ФЧХ в полосе пропускания и низкие избирательность и коэффициент прямоугольности АЧХ.
Эти недостатки обусловлены тем, что наклонные электроды излучают и, соответственно, принимают ПАВ под углом к продольной от оси фильтра [4, стр. 261-264] . Кроме того, частотные характеристики (избирательность и коэффициент прямоугольности АЧХ) фильтра ухудшаются из-за дифракционного расхождения пучка ПАВ и отклонения потока энергии от продольной оси фильтра [4, стр. 187-200].
Взаимосвязанными техническими задачами, решаемыми в изобретении, являются повышение точности воспроизведения заданных частотных характеристик фильтра на ПАВ и упрощение его изготовления.
Поставленные задачи решаются тем, что в фильтре на поверхностных акустических волнах (ПАВ), содержащем пьезоэлектрическую подложку, на рабочей поверхности которой размещены входной и выходной преобразователи, образованные перекрывающимися противофазными (возбуждающими или возбуждающими и отражающими) электродами, периоды и ширины которых изменяются вдоль апертур преобразователей. Входной и выходной преобразователи разделены вдоль их апертур на параллельные акустические каналы, число которых выбрано из соотношений BW/(TBW+1)≅MI<100, BW/(TBW+1)≅ MO < 100, где MI и MO - число акустических каналов во входном и выходном преобразователях соответственно, BW - ширина полосы пропускания фильятра, TBW - ширина переходной полосы фильтра. При этом в каждом акустическом канале электроды размещены перпендикулярно направлению распространения ПАВ, периоды и ширины электродов выполнены постоянными, а апертуры акустических каналов выбраны из соотношений λi/2 < Ai< W1/2, λm/2 < Am< Wo/2 где i = 1, 2, 3,...,МI и m = 1, 2, 3,...,МO текущие номера акустических каналов во входном и выходном преобразователях, Ai и Am - апертуры i-го и m-го акустического каналов во входном и выходном преобразователях, λi и λm - длины ПАВ, соответствующие периодам электродов i-го и m-го акустического каналов, WI и WO - апертуры соответственно входного и выходного преобразователей. Одноименные электроды соседних акустических каналов электрически связаны между собой соединительными перемычками, протяженности δAi и δAm которых вдоль апертур преобразователей выбраны из соотношений Ai/50 < δAi< Ai/10 и Am/50 < δAm< Am/10, при этом расстояние Li между центрами соответствующих акустических каналов выбрано из соотношения Li = L0i+(ΔΦi/2π)• λi, где n = 0,1,2,3,..., целое число, L0i - расстояние между центрами акустических каналов во входном и выходном преобразователях, соответствующее заданной фазочастотной характеристике фильтра, ΔΦi - требуемая величина коррекции искажения фазочастотной характеристики i-го канала.
В первом варианте фильтра соединительные перемычки выполнены в виде трапеций, частично перекрывающих соединяемые одноименные электроды соседних акустических каналов.
Во втором варианте фильтра соединительные перемычки выполнены в виде одиночных прямоугольников, также частично перекрывающих соединяемые одноименные электроды соседних акустических каналов.
В третьем варианте соединительные перемычки
выполнены в виде набора прямоугольников, сдвинутых относительно друг друга вдоль направления распространения ПАВ и также частично
перекрывающих соединяемые одноименные электроды соседних акустических
каналов. При этом число К прямоугольников в наборе выбрано из соотношения
1 ≅ K ≅ (V•Lλ
I,O/2•δl)•(Δfi•
λi/f),
где Δfi = fi-fi+1 ≈
BW/(MI,O-1) - разница средних частот соседних акустических каналов, электроды которых соединяются перемычкой,
fi = V/λi и fi+1 = V/λi+1 - средние частоты соседних i-го и (i+1)-го акустических каналов,
V - скорость ПАВ,
LλI,O - протяженность входного или выходного преобразователя в
длинах волн,
δl - сдвиг между соседними прямоугольниками вдоль направления распространения ПАВ.
В результате входной и выходной преобразователи имеют ступенчатые электроды, периоды Pi и Pm и ширины bi, и bm которых изменяются от ступени к ступени вдоль апертур WI и WO преобразователей. Такие преобразователи могут быть названы квазивеерными преобразователями со ступенчатыми электродами. При этом каждая ступень соответствует акустическому каналу.
В общем случае число МI и М0 акустических каналов во входном и выходном преобразователях и их протяженности LλI, O могут быть неодинаковыми.
Но в подавляющем же числе
случаев WI = WO = W, i = m, МI = МO, Pi = Pm, bi = bm, LλI= LλO.
На
фиг. 1 представлен известный фильтр на ПАВ с веерными преобразователями, содержащими только возбуждающие наклонные
электроды (фиг. 1 а) или возбуждающие и отражающие наклонные электроды (фиг. 1б).
На фиг. 2 представлен предлагаемый фильтр с квазивеерными преобразователями, имеющими только возбуждающие ступенчатые электроды (фиг. 2а), или возбуждающие и отражающие ступенчатые электроды (фиг. 2б).
На фиг. 3 представлен предлагаемый фильтр для случая, когда число акустических каналов во входном и выходном преобразователях выбрано неодинаковым.
На фиг. 4 показаны варианты выполнения соединительных проводящих перемычек: фиг. 4а - в виде трапеции, фиг. 4б - в виде одиночного прямоугольника, фиг. 4в - в виде набора прямоугольников, сдвинутых вдоль направления распространения ПАВ.
На фиг. 5 показан механизм формирования частотной характеристики фильтра на ПАВ как суперпозиции частотных характеристик суб-фильтров, образованных соответствующими акустическими каналами во входном и выходном преобразователях.
На фиг. 6 представлена зависимость неравномерности амплитудно-частотной характеристики
На фиг. 7 показан пример экспериментальных АЧХ или
Предлагаемый фильтр на поверхностных акустических
волнах (ПАВ) содержит пьезоэлектрическую подложку 1, на рабочей поверхности которой размещены входной 2 и
выходной 3 преобразователи, образованные перекрывающимися противофазными (возбуждающими 4 или
возбуждающими 4 и отражающими 5) электродами, периоды Pi, и Pm и ширины bi
и bm которых изменяются вдоль апертур WI и WO
соответственно входного 2 и выходного 3 преобразователей. Входной 2 и выходной 3 преобразователи разделены вдоль их
апертур на параллельные акустические каналы 6, 7, число которых в каждом
преобразователе выбрано из соотношений
BW/(TBW+1)≅MI < 100; (1)
BW/(TBW+1)≅
MO < 100,
где MI и МO
- число акустических каналов 6 и 7 во входном 2 и выходном 3 преобразователях соответственно, BW - ширина полосы пропускания
фильтра, TBW - ширина переходной полосы фильтра. При этом в каждом
акустическом канале 6, 7 электроды 4, 5 размещены перпендикулярно направлению распространения ПАВ, периоды Pi, Pm и ширины bi, bm электродов выполнены
постоянными, а апертуры акустических каналов выбраны из соотношений
λi/2 < Ai<
WI/2; (2)
λm/2 < Am< WO/2,
где i = 1,2,3,...,MI и m = 1,2,3,...,МO - текущие номера
акустических каналов 6, 7 во входном 2 и выходном 3 преобразователях, Ai и Am - апертуры i-го и m-го акустического каналов во входном и выходном преобразователях, λi и λm - длины ПАВ, соответствующие периодам Pi и Pm электродов i-го и m-го акустических каналов 6, 7, WI и WO - апертуры
соответственно входного 2 и выходного 3 преобразователей. Одноименные электроды 4
соседних акустических каналов 6 и 7 электрически связаны между собой соединительными перемычками 8, протяженности
δAiи δAm которых вдоль апертур WO и
WI преобразователей 2, 3 выбраны из соотношений
Ai/50 < δAi
< Ai/10 и Am/50 < δΑm
< Am/10, (3)
при этом расстояние Li между центрами соответствующих акустических
каналов выбрано из соотношения
Li = L0i+(Δ
Φi/2π)•λi,
где L0i - расстояние между центрами
акустических каналов в входном и выходном преобразователях, соответствующее
заданной фазочастотной характеристике фильтра, ΔΦi - требуемая величина коррекции искажения
фазочастотной характеристики i-го канала.
В соответствии с первым вариантом фильтра на ПАВ проводящие перемычки 8 выполнены в виде трапеций, частично перекрывающих соединяемые одноименные электроды соседних акустических каналов 6, 7.
В соответствии со вторым вариантом фильтра на ПАВ проводящие перемычки 8 выполнены в виде наклонных прямоугольников, частично перекрывающих соединяемые одноименные электроды соседних акустических каналов 6, 7.
В соответствии с третьим вариантом фильтра на ПАВ проводящие перемычки 8 выполнены в виде набора прямоугольников, сдвинутых относительно друг друга вдоль направления распространения ПАВ и частично перекрывающих соединяемые одноименные электроды соседних акустических каналов 6, 7.
При этом число К прямоугольников в наборе выбрано из соотношения
1 ≅ K
≅ (V•Lλ/2•δl)•(Δfi•λi/f
где Δfi = fi-fi+1≈ BW/(MI,
O-1) - разница средних частот соседних акустических каналов, электроды которых
соединяются перемычкой,
fi = V/λi и fi+1= V/λi+1
- средние частоты соседних i-го и (i+1)-го акустических каналов,
λi и λi+1 - длины волн, соответствующие средним частотам fi и fi+1
акустических каналов,
V - скорость ПАВ,
LλI,O
- протяженность входного 2 или выходного 3 преобразователя в длинах волн,
δl - сдвиг между соседними
прямоугольниками вдоль направления распространения ПАВ.
В общем случае число акустических каналов 6 и 7 во входном 2 и выходном 3 преобразователях может быть выбрано неодинаковым, то есть МI ≠ MO. Кроме того, число электродов во входном и выходном преобразователях также может быть неодинаковым, то есть LλI≠ LλO . Но в большинстве случаев МI = МO = М, WI = WO = W, i = m, fi = fm.
Предлагаемый фильтр на ПАВ работает следующим образом (фиг. 2 и фиг. 3). При подаче электрического сигнала от внешнего генератора (на фиг. 2 и 3 условно не показан) входной преобразователь 2 возбуждает пучок ПАВ, распространяющийся в пьезоэлектрической подложке 1 в направлении выходного преобразователя 3. Последний преобразует принятые ПАВ в электрический сигнал, выделяющийся на внешней нагрузке RL (на фиг. 2 и 3 условно не показана). В соответствии с изобретением преобразователи 2, 3 вдоль их апертур WI и WO разделены на параллельные акустические каналы 6, 7 с номерами i = 1,2,3,..., МI, и m = 1,2,3,...,MO.
Для простоты рассмотрим случай, когда число МI акустических каналов 6 во входном преобразователе выбрано равным числу акустических каналов в выходном преобразователе 4, то есть МI = МO = М, i = m, Pi = Pm, bi = bm.
Кроме того, будем считать апертуры входного и выходного преобразователей также одинаковы, то есть WI = WO = W.
Поскольку периоды Pi и Pm и ширины bi и bm электродов в пределах каждого акустического канала 6, 7 в соответствии с изобретением выбраны постоянными, то пара соответствующих акустических каналов 6, 7 образует сравнительно узкополосный суб-фильтр со средней частотой fi = V/Pi = V/λi, где V-скорость ПАВ, λi/- длина ПАВ, соответствующая периоду Pi электродов и частоте акустического синхронизма fi в i-м канале, являющейся средней частотой канала.
В результате фильтр на ПАВ в целом может быть представлен в виде
совокупности из М электрически параллельно соединенных суб-фильтров, а
передаточная функция фильтра для случая МI = МO = М, i = m, WI = WO = W, может быть
записана в виде суперпозиции передаточных функций соответствующих
суб-фильтров (фиг. 5)
Механизм формирования АЧХ фильтра путем суперпозиции АЧХ суб-фильтров, разнесенных по частоте относительно друг друга на Δfi = fi -fi+1, показан на фиг. 5. При этом АЧХ фильтра имеет заданную полосу пропускания BW и две переходные полосы TBW. Ширина одной из переходных полос определяется шириной полосы пропускания самого низкочастотного суб-фильтра i = 1, а ширина второй переходной полосы - шириной полосы пропускания самого высокочастотного фильтра i = М.
В общем случае средняя частота F0 фильтра может совпадать с одной из средних частот акустических каналов.
В случае сложной формы заданной фазочастотной характеристики фильтра на ПАВ расстояние между центрами
одноименных i = m акустических каналов 6 и 7 может
быть переменным, то есть L0i = var. При одинаковом числе каналов МO = МI = М во входном 6 и выходном 7
преобразователях передаточная функция фильтра на ПАВ будет
При заданной линейной фазе фильтра на ПАВ расстояние между центрами преобразователей 6 и 7 будет
Li = Lo= const и τi(f) = τ0= L0/V, (6)
где τo - постоянная запаздывания. Поэтому изменение фазы соседних i-го и (i+1)-го
акустических каналов относительно друг друга будет
Увеличение числа акустических каналов более чем М > 100 не приводит к улучшению точности воспроизведения заданных частотных характеристик, но значительно увеличивает время изготовления фотошаблона предлагаемого фильтра, делая его сопоставимым со временем изготовления фотошаблона фильтра-прототипа.
Для примера на фиг. 6 показана зависимость неравномерности Δα АЧХ и относительной ширины переходной полосы TBW от числа М = МO = МI акустических каналов с относительной полосой пропускания BW=20%.
Нижний предел апертуры акустического канала δAi> λi/2 обусловлен необходимостью сохранения плоского фронта ПАВ в пределах акустического канала с малым перекрытием электродов [4, стр. 187-200]. Верхний предел апертуры канала δAi < W/2 обусловлен минимальным количеством М = 2 акустических каналов в предлагаемом квазивеерном преобразователе.
С точки зрения функционирования предложенного фильтра на ПАВ разделение преобразователей на акустические каналы и введение соединительных перемычек приводит к результатам двоякого рода.
С одной стороны, в области расположения соединительных перемычек 8 не происходит синхронного сложения излучаемых ПАВ из-за различного наклона перемычек 8 по отношению к направлению распространения ПАВ. Это вызывает дополнительные потери на излучение ПАВ. Но выбор протяженностей перемычек из соотношений Ai/50 < δAi< Ai/10 и Am/50 < δAm< Am/10 делает эти дополнительные потери пренебрежимо малыми.
С другой стороны, использование акустических каналов с регулярно расположенными электродами позволяет приблизить условия распространения ПАВ в этих каналах к условиям распространения ПАВ в регулярных волноводах. Последние условия обеспечивают концентрацию энергии ПАВ в пределах канала, что уменьшает вносимые потери и искажения частотных характеристик фильтра, связанные с дифракционной расходимостью пучка ПАВ [4, стр. 187-200] в фильтре-прототипе, что улучшает избирательность фильтра и коэффициент прямоугольности АЧХ.
Кроме того, размещение электродов в акустических каналах предлагаемого фильтра перпендикулярно направлению распространения ПАВ позволяет уменьшить паразитное взаимодействие соседних (вдоль апертуры) областей преобразователей, возникающее из-за дифракционного отклонения потока энергии ПАВ и дополнительного наклона фронта излучаемых ПАВ в фильтре-прототипе с веерными преобразователями. Промежуточные коммутационные слои между акустическими каналами, занятые соединительными перемычками, являются дополнительными акустическими барьерами для ПАВ, отклоняющихся от распространения вдоль продольной оси фильтра, что и способствует лучшей акустической изоляции соседних каналов и уменьшению искажения частотных характеристик, связанных с дифракционным расхождением пучка ПАВ и отклонением потока энергии ПАВ.
Перечисленные свойства позволяют также улучшить избирательность фильтра и коэффициент прямоугольности заданной АЧХ. Различные варианты выполнения соединительных перемычек в виде трапеций, прямоугольников или набора прямоугольников позволяет улучшить работу промежуточного слоя как акустического барьера.
При заданной длине подложки (или преобразователей) предложенный фильтр обеспечивает меньшие искажения частотных характеристик в полосе пропускания, лучшую избирательность и лучший коэффициент прямоугольности АЧХ по сравнению с прототипом.
Таким образом, предложенное техническое решение позволяет обеспечить достижения первой цели изобретения - улучшения точности воспроизведения заданных частотных характеристик.
Дополнительным преимуществом предложенного фильтра является тот факт, что при одинаковом с прототипом коэффициенте прямоугольности АЧХ предложенный фильтр будет иметь более короткие преобразователи и подложку меньшей длины.
Достижение второй взаимосвязанной цели изобретения: упрощение изготовления фильтра, - решается следующим образом.
Во-первых, благодаря размещению электродов перпендикулярно направлению распространения ПАВ и разделению преобразователей на М =10-30 акустических каналов, то есть благодаря использованию ступенчатых электродов (фиг. 2 и 3) вместо наклонных электродов (фиг. 1), в предлагаемом фильтре отсутствует необходимость разделения каждого электрода на 500-1000 фрагментов при изготовлении фотошаблона на оборудовании с дискретным перемещением исполнительных механизмов.
Во-вторых, благодаря выполнению электродов с постоянным периодом и шириной возможно изготовление акустических каналов предлагаемого фильтра путем мультиплицирования повторяющихся элементарных фрагментов (секций) вместо индивидуального пофрагментного изготовления каждого электрода в фильтре-прототипе.
В-третьих, выполнение соединительных перемычек согласно изобретению позволяет обойтись одной экспозицией (перемычки в виде трапеции при прямоугольниках, фиг. 4а, б) и 3-5 экспозициями (перемычки в виде набора сдвинутых прямоугольников, фиг. 4в) при изготовлении промежуточного коммутационного слоя на фотошаблоне предлагаемого фильтра.
В результате время изготовления фотошаблона предлагаемого фильтра уменьшается в 3-8 раз по сравнению с временем изготовления фильтра-прототипа.
Пример 1. На фиг. 7 изображены АЧХ (то есть
Таким образом, использование предлагаемого технического решения позволяет обеспечить достижение взаимосвязанных целей изобретения: повышение точности воспроизведения заданных частотных характеристик и упрощение изготовления фильтров на ПАВ.
ЛИТЕРАТУРА
1. Д.Морган. "Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах". М.:, Радио и связь, 1990
г., 415 стр.
2. L.Solie, "Weighted tapered SPUDT SAW device". Заявка PCT WO 97/10646, H 03 H 9/145, 9/02, опубликована 20 марта 1997 г.
3. L. Solie, "Tapered transducers-design and application", Proc. IEEE 1998 Ultrasonics Symposium, pp.27-37, Senday, Japan, 1998 г.
4. Орлов B. C., Бондаренко В.С. "Фильтры на поверхностных акустических волнах". М.: Радио и связь, 1981 г., 274 стр.
Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в фильтрах промежуточных и несущих радиочастот для селекции сигналов в радиотелефонах, пейджерах, мобильных системах связи и т.д. Техническим результатом является уменьшение искажения заданных частотных характеристик и упрощение изготовления фильтров. При подаче электрического сигнала на входной преобразователь, содержащий электроды в пьезоэлектрической подложке, возбуждаются поверхностные акустические волны (ПАВ), которые распространяются в направлении выходного преобразователя, трансформируются на нем в электрический сигнал, выделяющийся в нагрузке. Периоды и ширины электродов изменяются вдоль апертур входного преобразователя. Входной и выходной преобразователи разделены вдоль их апертур на параллельные акустические каналы, число которых в каждом преобразователе выбрано из приведенных соотношений. При этом в каждом акустическом канале электроды размещены перпендикулярно направлению распространения ПАВ, периоды и ширины электродов выполнены постоянными, а апертуры акустических каналов также выбраны из приведенных соотношений. Одноименные электроды соседних акустических каналов электрически связаны между собой соединительными перемычками. Соединительные перемычки выполнены в виде трапеции, прямоугольника или в виде набора прямоугольников, частично перекрывающих соединяемые одноименные электроды соседних акустических каналов. Разделение входного и выходного преобразователей на ограниченное число акустических каналов в соответствии с изобретением позволяет уменьшить искажения частотных характеристик фильтра на ПАВ и упростить его изготовление. 3 з.п. ф-лы, 7 ил.