Способ изготовления микромеханических устройств, содержащих газопоглотительный материал, и изготовление этим способом устройства - RU2008127306A

Реферат

1. Способ изготовления микромеханических устройств, включающий в себя этап прямого соединения двух частей подложки, одна из которых (12, 20) сделана из кремния, и другая - из кремния или полупроводникового, керамического или окисного материала; причем функциональные элементы (11) и возможные вспомогательные элементы устройства присутствуют, по меньшей мере, на одной из этих частей подложки и покрытие (13, 24) из газопоглотительного материала присутствует на одной кремниевой части подложки; при этом способ включает в себя этапы, согласно которым: обеспечивают первую часть (10) подложки, на которой выполнены функциональные элементы (11) и возможные вспомогательные элементы устройства; обеспечивают вторую часть (20) подложки; причем упомянутые первая и вторая части подложки выполнены таким образом, что при их совмещении они образуют полость (14), в которой помещены упомянутые функциональные элементы, вспомогательные элементы и покрытие из газопоглотительного материала; сближают упомянутые две части подложки, чтобы сформировать упомянутую полость, и сваривают упомянутые две части подложки методом прямого соединения, при этом способ отличается тем, что упомянутое покрытие из газопоглотительного материала формируют на упомянутой кремниевой части подложки первой операцией формирования на кремниевой части подложки промежуточного слоя (23) из стеклянного, керамического или оксидного материала толщиной, по меньшей мере, 50 нм; и второй операцией - осаждением слоя (24) газопоглотительного материала толщиной не более 10 мкм на упомянутом промежуточном слое; и тем, что используемый газопоглотительный материал является сплавом, с�