Способ изготовления герметизированной конструкции - RU2012146872A

Реферат

1. Способ создания герметичного уплотнения внутри композитной пластины типа кремний-изолятор, используемой для изготовления герметичной конструкции, включающий следующие операции:структурирование первой кремниевой пластины для формирования одного или более углублений, проходящих по меньшей мере на часть толщины первой кремниевой пластины;заполнение единственного или каждого углубления материалом-изолятором, пригодным для прикрепления к кремнию посредством анодного соединения с формированием первой композитной пластины, имеющей множество интерфейсов кремний-изолятор и первую контактную поверхность, состоящую из материала-изолятора, иприменение к первой и второй контактным поверхностям технологии анодного соединения для создания герметичного уплотнения в интерфейсах кремний-изолятор первой композитной пластины, причем вторая контактная поверхность состоит из кремния.2. Способ по п.1, в котором первую контактную поверхность формируют путем частичного удаления одной или более частей кремниевой пластины, расположенных между заполненными углублениями, с открыванием одной или более частей заполнившего углубления материала-изолятора, образующих в результате первую контактную поверхность.3. Способ по п.1, в котором вторую контактную поверхность формируют на первой кремниевой пластине.4. Способ по п.3, дополнительно включающий операцию удаления первой и второй контактных поверхностей по завершении использования технологии анодного соединения.5. Способ по п.1, дополнительно включающий, перед использованием технологии анодного соединения, следующие операции:удаление имеющегося на второй соединяемо