Мэмс (mems)-структура с гибкой мембраной и усовершенствованный электрический активационный механизм - RU2011139816A

Реферат

1. МЭМС (MEMS)-структура, содержащая гибкую мембрану (6), имеющую основную продольную ось (6a), которая определяет продольное направление (X), по меньшей мере одну опору (3, 3') под гибкой мембраной (6), электрический опускающий активационный механизм (7), способный сгибать гибкую мембрану (6) в нижнее форсированное положение, электрический поднимающий активационный механизм (8), способный сгибать мембрану (6) в верхнее форсированное положение, причем электрический опускающий активационный механизм (7) или электрический поднимающий активационный механизм (8) содержит активационную область (7c или 8c), которая проходит под частью мембраны (6) и способна создавать тянущие силы, воздействующие на мембрану (6) одновременно по обе стороны от указанной по меньшей мере одной опоры (3) в продольном направлении (X).2. МЭМС (MEMS)-структура по п.1, в которой мембрана (6) состоит из гибкой функциональной части (60), находящейся выше указанной по меньшей мере одной опоры (3, 3') и способной сгибаться вверх или вниз под действием эффекта рычага, создаваемого по меньшей мере одной опорой (3, 3'), и по меньшей мере одной гибкой боковой нефункциональной части (61b), расположенной за пределами по меньшей мере одной опоры (3, 3') в поперечном направлении (Y) и проходящей по обе стороны по меньшей мере одной опоры (3 или 3') в продольном направлении (X), причем активационная область (7 с) электрического опускающего активационного механизма (7) или активационная область (8c) электрического поднимающего активационного механизма (8) проходит под по меньшей мере одной боковой нефункциональной частью (61b) и способна создавать тянущие силы, воздействующие на по меньшей мере одну бокову