Микроустройство, содержащее по меньшей мере два подвижных элемента - RU2019132616A

1. Микроустройство (100), содержащее по меньшей мере:

- первый слой (104) материала;

- второй слой (106) материала;

- фиксированный участок (115, 302);

- первый подвижный элемент (111), содержащий по меньшей мере первый участок (112) первого слоя (104) материала и по меньшей мере второй участок (118) второго слоя (106) материала;

- второй подвижный элемент (113), содержащий по меньшей мере первый участок (114) второго слоя (106) материала и по меньшей мере второй участок (126) первого слоя (104) материала;

- первое средство (121) подвески, сформированное в первом слое (104) материала и/или во втором слое (106) материала;

- второй средство (123) подвески, сформированное в первом слое (104) материала и/или во втором слое (106) материала;

и при этом:

- первый и второй подвижные элементы (111, 113) выполнены с возможностью перемещения относительно друг друга и относительно фиксированного участка (115, 302);

- первый и второй слои (104, 106) материала расположены один над другим;

- первый участок (112) первого слоя материала жестко соединен со вторым участком (118) второго слоя (106) материала;

- первый подвижный элемент (111) подвешен на фиксированном участке (115, 302) с помощью первого средства (121) подвески;

- второй подвижный элемент (113) подвешен на фиксированном участке (115, 302) с помощью второго средства (123) подвески;

- первый участок (114) второго слоя (106) материала жестко соединен со вторым участком (126) первого слоя (104) материала;

- первый и второй подвижные элементы (111, 113) выполнены с возможностью перемещаться по существу в противофазе относительно друг друга,

- центры тяжести первого и второго подвижных элементов (111, 113) выровнены один над другим по оси, по существу перпендикулярной главным поверхностям первого и второго слоев (104, 106).

2. Микроустройство (100) по п. 1, в котором первый и второй подвижные элементы (111, 113) расположены со взаимным перекрытием и/или концентрично относительно друг друга.

3. Микроустройство (100) по одному из предшествующих пунктов, в котором первый участок (112) первого слоя (104) материала соединен со вторым участком (118) второго слоя (106) материала по меньшей мере первым участком (120) промежуточного слоя (110), расположенного между первым и вторым слоями (104, 106) материала, и/или в котором первый участок (114) второго слоя (106) материала соединен со вторым участком (126) первого слоя (104) материала по меньшей мере вторым участком (128) промежуточного слоя (110).

4. Микроустройство (100) по одному из предшествующих пунктов, далее содержащее элементы для детектирования и/или измерения движения первого подвижного элемента (111) и/или второго подвижного элемента (113) относительно фиксированного участка (115, 302) и/или движения первого подвижного элемента (111) относительно второго подвижного элемента (113) и/или элементы, способные перемещать первый подвижный элемент (111) и/или второй подвижный элемент (113) относительно фиксированного участка (115, 302) и/или перемещать первый подвижный элемент относительно второго подвижного элемента (113).

5. Микроустройство (100) по одному из предшествующих пунктов, в котором первый подвижный элемент (111) и/или второй подвижный элемент (113) выполнены с возможностью перемещаться линейно и/или вращательно относительно фиксированного участка (115, 302) и/или относительно друг друга.

6. Микроустройство (100) по одному из предшествующих пунктов, в котором фиксированный участок (115, 302) содержит участки (117, 119) первого и второго слоев (104, 106) материала, расположенные вокруг первого и второго подвижных элементов (111, 113) и/или окруженные первым и вторым подвижными элементами (111, 113).

7. Микроустройство (100) по одному из предшествующих пунктов, в котором фиксированный участок (115, 302) содержит опорный слой (102), так, что первый слой (104) материала расположен между опорным слоем (102) и вторым слоем (106) материала.

8. Микроустройство (100) по одному из предшествующих пунктов, далее содержащее по меньшей мере один промежуточный подвижный элемент (304), подвешенный на фиксированном участке (302) и выполненный с возможностью перемещения относительно фиксированного участка (302), и в котором первый и второй подвижные элементы (111, 113) подвешены на промежуточном подвижном элементе (304) и выполнены с возможностью перемещения относительно промежуточного подвижного элемента (304) и фиксированного участка (302).

9. Микроустройство по п. 8, в котором:

- фиксированный участок (302) содержит фиксированную рамку, по меньшей мере частично окружающую промежуточный подвижный элемент (304), и промежуточный подвижный элемент (304) образует подвижную рамку, подвешенную на фиксированной рамке, и/или

- микроустройство (100) далее содержит первую полость (326), по меньшей мере часть стенок которой образована фиксированным участком (302), и в которой инкапсулирован промежуточный подвижный элемент (304), и вторую полость (324), расположенную в первой полости (326), по меньшей мере часть стенок которой образована промежуточным подвижным элементом (304), и в которой инкапсулированы первый и второй подвижные элементы (111, 113).

10. Способ изготовления микроустройства (100), содержащий по меньшей мере этапы, на которых:

- выполняют травление первого слоя (104) материала так, чтобы по меньшей мере первый участок (112) первого слоя (104) материала образовал первый участок по меньшей мере первого подвижного элемента (111), а по меньшей мере второй участок (126) первого слоя материала (104) образовал первый участок второго подвижного элемента (113),

- изготавливают второй слой (106) материала на первом слое (104) материала,

выполняют травление второго слоя (106) материала так, чтобы по меньшей мере второй участок (118) второго слоя (106) материала образовал второй участок первого подвижного элемента (111), жестко соединенный с первым участком (112) первого слоя (104) материала, и по меньшей мере первый участок (114) второго слоя (106) материала образовал второй участок второго подвижного элемента (113), жестко соединенный со вторым участком (126) первого слоя материала,

при этом эти этапы выполняют так, чтобы:

- первый подвижный элемент (111) был подвешен на фиксированном участке (115, 302) с помощью первого средства (121) подвески, сформированного в первом слое (104) материала и/или во втором слое (106) материала,

- второй подвижный элемент (113) был подвешен на фиксированном участке (115, 302) с помощью второго средства (123) подвески, выполненного в первом слое (104) материала и/или во втором слое (106) материала,

- первый и второй подвижные элементы (111, 113) были выполнены с возможностью перемещаться относительно друг друга и относительно фиксированного участка (115, 302),

первый и второй подвижные элементы (111, 113) были выполнены с возможностью перемещаться по существу в противофазе относительно друг друга,

- центры тяжести первого и второго подвижных элементов (111, 113) были выровнены один над другим на оси, по существу перпендикулярной главным поверхностям первого и второго слоев (104, 106) материала.

11. Способ по п. 10, в котором этап изготовления второго слоя (106) материала на первом слое (104) материала содержит этап, на котором переносят второй слой (106) материала на первый слой (104) материала так, чтобы между первым и вторым слоями (104, 106) материала был расположен промежуточный слой (110), при этом способ далее содержит этапы, на которых после травления второго слоя (106) материала выполняют травление промежуточного слоя (110) так, чтобы по меньшей мере первая часть (120) промежуточного слоя (110) соединяла первый участок (112) первого слоя (104) материала со вторым участком (118) второго слоя (106) материала, и, когда изготавливают второй подвижный элемент (113), по меньшей мере второй участок (128) промежуточного слоя (110) соединял первый участок (114) второго слоя (106) материала со вторым участком (118) первого слоя (104) материала.

12. Способ по одному из пп. 10 или 11, при котором между первым слоем (104) материала и опорным слоем (102) располагают расходуемый слой (108), при этом способ далее содержит этапы, на которых поле травления второго слоя (106) материала изготавливают отверстие (154) доступа к расходуемому слою (108) через опорный слой (102), затем выполняют травление части расходуемого слоя (108) через отверстие (154) доступа, сформированное в опорном слое (102), освобождая по меньшей мере первый участок (112) первого слоя (104) материала относительно опорного слоя (102).

13. Способ по одному из пп. 10 или 11, при котором расходуемый слой (108) располагают между первым слоем (104) материала и опорным слоем (102), при этом способ далее содержит этапы, на которых между травлением первого слоя (104) материала и изготовлением второго слоя (106) материала выполняют травление первого участка расходуемого слоя (108), частично освобождая по меньшей мере первый участок (112) первого слоя (104) материала относительно опорного слоя (102), а после травления второго слоя (106) материала выполняют травление второго участка расходуемого слоя (108) через отверстия (140, 152), сформированные в первом и втором слоях (104, 106) материала предыдущими операциями травления первого и второго слоев (104, 106) материала, завершая освобождение первого участка (112) первого слоя (104) материала относительно опорного слоя (102).

14. Способ по п. 13, при котором на этапах травления первого и второго слоев (104, 106) материала формируют освобождающие отверстия (140, 152), проходящие сквозь первый и второй слои (104, 106) материала, которые выровнены одно над другим.

15. Способ по п. 14, при котором на этапе травления второго слоя (106) материала формируют дополнительные освобождающие отверстия (162), проходящие сквозь второй слой (106) материала.

16. Способ по одному из пп. 10-17, при котором этапы травления первого и второго слоев (104, 106) материала выполняют, используя одну систему меток совмещения, расположенных на задней поверхности опорного слоя (102) первого и второго слоев (104, 106) материала.