Способ получения игловидных монокристаллов карбида кремния - SU401042A3

Описание

1

Известен способ получения игловидных монокристаллов карбида кремния выращиванием н.х на иодложке из парогазовой емеси, котор то получают проиусканием газа, содержащего водород н галоген, над нагретым совместно до 1100-1600°С кремнием и углем.

Однако по известному способу необходимо нспользовать кремний высокой стенени чистоты .

Цель изобретения - обеспечение возможиости исиоотьзоваиия техиического кремния.

Для этого газ, содержащий водород н галоге 1 , проиускают иоследовательно сначала над кремнием, взятым в виде порощка, затем над углем, после чего его подают на подложку, температура которой ниже температуры кремния . Кроме того, используют в процессе технический кремиий, иапри.мер, с чистотой 98-99 вес. %. Предпочтительно использовать кремний в виде порощка с размером частиц I-20 мк. Применяемый газ содержит нредпочтителыю 1,5-9 ат. % галогена. В качестве галогена используют хлор. Наряду с хлором можно также иснользовать бром или фтор. Газ пропускают со скоростью 10-20 см/мин.

П р и .м е р 1. В реакционную трубку из плотно спеченной окиси алюминия вводят 4,5 г углерода и 8 г порошкообразного кре.лгния технического качества так, что по направлению пропускания газа, креминй находится пепосредственно перед углеродом. Затем через реакциониую трубу пропускают реакционный газ, который состонт из 72% Но, 20% Хч н 8% Cl, в то время как реактор нагревают до 1480°С. Приблизительно по нстечепин 8 час реакцня окончена. Реактор охлаждают н открывают. В результате получают кгловидные монокристаллы карбпда кремния диаметром от 3 до 5 мк и д.тнной в несколько .миллиметров.

Пример 2. Опыт проводят ана.тогично примеру 1. Состав газа 84% Ib. 12% N2 и 4% р2. Температура реакции 1100°С. В результате получают игловидные .монокристаллы карбида кре.м1П1я диаметром 5-10 мк и длииой в несколько мнллиметров или сантиметров.

П р е д м е т изо б р е т е н и я

1. Способ пол}чения игловидных .монокрнсталлов карбида крем1Н1я выращнвание.м их иа нодложке из парогазовой смесп, получае.мой пропусканием газа, содержащего водород н галоген, над нагретым до 1100-1600°С кремнием и углем, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности использования технического кремния, газ, содержащий водород и галоген, пропускают последовательно сначала над кремнием, взятым в виде порощка, затем над тлe, послг чего его подают на ПОДЛОЖКУ, 3 температура которой ниже температуры кремПИЯ . 2.Способ по п. 1, отличающийся тем, что для выращивания используют кремппй чистотой 98-99 вес. %.5 3.Способ по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что для выращивапия используют порошок кремния с размером частип 1-20 мк. 4 4. Способ по пп, 1-3, отличающийся , что в газе, содержащем водород и галогеп, последний составляет 1,5-9 ат. %. 5. Способ по пп. 1-4, отличающийся тем, что в качестве галогепа используют хлор. 6. Способ по пп. 1-5, отличающийся тем, что газ, содержащий водород и галогеп, пропускают со скоростью 10-20 см/мин.

Реферат

Формула