Электроосаждение алюминия и тугоплавких металлов из неароматических органических растворителей - RU2005130772A

Реферат

1. Способ электроосаждения металла, включающий в себя получение раствора для нанесения электролитического покрытия, причем этот раствор содержит смесь растворимых солей металлов и органических добавок, растворенную в неводном неароматическом органическом растворителе; и электроосаждение металла из раствора для нанесения электролитического покрытия на проводящую подложку под действием катодного тока.

2. Способ по п.1, в котором растворимые соли металлов представляют собой алкоголят металла.

3. Способ по п.2, в котором алкоголят металла выбран из группы, состоящей из этилатов, пропилатов, изопропилатов, бутилатов металлов, соответствующих галогенидов, фосфатов и карбонатов, и их смесей.

4. Способ по п.1, в котором металл выбран из группы, состоящей из алюминия, титана, тантала, циркония, молибдена, вольфрама, ниобия, осмия, гафния, магния и их сплавов и комбинаций.

5. Способ по п.1, в котором неводный неароматический органический растворитель представляет собой неароматический растворитель с низкой молекулярной массой.

6. Способ по п.1, в котором неводный неароматический органический растворитель представляет собой спирт или амин.

7. Способ по п.6, в котором спирт имеет более чем одну функциональную группу OH.

8. Способ по п.1, в котором неводный неароматический органический растворитель выбран из группы, состоящей из этанола, пропанола, изопропанола, бутанола, 2-бутанола и этаноламина.

9. Способ по п.1, в котором концентрация растворимой соли металла в растворе для нанесения электролитического покрытия составляет от 5 до 100% от концентрации насыщения соли металла в неводном неароматическом органическом растворителе при рабочей температуре электроосаждения.

10. Способ по п.1, включающий в себя добавление к раствору для нанесения электролитического покрытия проводящей добавки для увеличения электропроводности растворителя.

11. Способ по п.10, в котором проводящая добавка представляет собой органическое твердое вещество с низкой молекулярной массой.

12. Способ по п.10, в котором проводящая добавка представляет собой щавелевую кислоту, лимонную кислоту, цитрат или хлорид аммония, пентахлорид, тетрахлорид упомянутого металла или органическое или неорганическое соединение, растворимое в растворе для нанесения электролитического покрытия.

13. Способ по п.1, включающий в себя непрерывное фильтрование раствора для нанесения электролитического покрытия на молекулярных ситах и поддержание инертной атмосферы над раствором для нанесения электролитического покрытия во время, по меньшей мере, электроосаждения.

14. Способ по п.13, в котором инертная атмосфера поддерживает по существу не содержащую кислорода и не содержащую влаги атмосферу в контакте с раствором для нанесения электролитического покрытия.

15. Способ по п.1, включающий в себя разделение раствора для нанесения электролитического покрытия на отдельный отсек для католита и отдельный отсек для анолита, причем отсек для католита и отсек для анолита отделены мембраной.

16. Способ по п.1, включающий в себя перемешивание раствора для нанесения электролитического покрытия или встряхивание покрываемой детали.

17. Способ по п.1, включающий в себя подготовку поверхности проводящей подложки к электроосаждению путем дробеструйной обработки поверхности, маскирования поверхности, очистки щелочным или кислым очищающим раствором и удаления очищающего раствора погружением в спирт или опрыскиванием спиртом.

18. Раствор для нанесения электролитического покрытия, содержащий неводный неароматический органический растворитель; и смесь, содержащую растворимые соли металлов и органические добавки и растворенную в неводном неароматическом органическом растворителе.

19. Раствор для нанесения электролитического покрытия по п.18, в котором растворимые соли металлов включают в себя соли алюминия, которые обеспечивают электроосаждение алюминия.

20. Раствор для нанесения электролитического покрытия по п.18, в котором растворимые соли металлов включают в себя соли титана, которые обеспечивают электроосаждение титана.

21. Раствор для нанесения электролитического покрытия по п.18, в котором растворимые соли металлов включают в себя соли тантала, которые обеспечивают электроосаждение тантала.

22. Раствор для нанесения электролитического покрытия по п.18, в котором растворимые соли металлов включают в себя соли циркония, которые обеспечивают электроосаждение циркония.

23. Раствор для нанесения электролитического покрытия по п.18, в котором растворимые соли металлов включают в себя по меньшей мере одну соль тугоплавкого металла, которая обеспечивает электроосаждение тугоплавкого металла.

24. Раствор для нанесения электролитического покрытия по п.23, в котором тугоплавкий металл представляет собой молибден, вольфрам, ниобий, осмий, гафний, их сплавы или комбинации.

25. Раствор для нанесения электролитического покрытия по п.18, в котором растворимые соли металлов представляют собой алкоголят металла.

26. Раствор для нанесения электролитического покрытия по п.18, в котором неводный неароматический органический растворитель представляет собой неароматический растворитель с низкой молекулярной массой.

27. Система для нанесения электролитических покрытий, включающая в себя камеру нанесения, содержащую раствор для нанесения электролитического покрытия; место входа в систему для нанесения электролитического покрытия; и систему транспортировки для подачи покрываемой детали от места входа до камеры нанесения, при этом раствор для нанесения электролитического покрытия содержит неводный неароматический органический растворитель и смесь, содержащую растворимые соли металлов и органические добавки и растворенную в неводном неароматическом органическом растворителе.

28. Система для нанесения электролитического покрытия по п.27, в которой камера нанесения включает в себя единственный отсек нанесения или разделенный отсек нанесения для анолита и католита.

29. Система для нанесения электролитического покрытия по п.27, в которой камера нанесения включает в себя разделенный отсек нанесения c двумя расположенными по существу напротив друг друга анодами и с католитом между ними, причем каждый анод отделен от католита мембраной.

30. Система для нанесения электролитического покрытия по п.27, включающая в себя наружную камеру, в которой размещены молекулярные сита, при этом раствор для нанесения электролитического покрытия непрерывно перемешивается за счет циркуляции через наружную камеру.

31. Система для нанесения электролитического покрытия по п.27, включающая в себя источник инертного газа и инертную атмосферу, поддерживаемую внутри, по меньшей мере, камеры нанесения путем регулировки газа из источника инертного газа.

32. Система для нанесения электролитического покрытия по п.31, в которой инертная атмосфера поддерживается при избыточном давлении.

33. Раствор для нанесения электролитического покрытия по п.27, в котором растворимые соли металлов представляют собой алкоголят металла.

34. Раствор для нанесения электролитического покрытия по п.27, в котором неводный неароматический органический растворитель представляет собой неароматический растворитель с низкой молекулярной массой.