Форма для гальванопластики и способ ее изготовления - RU2010109438A

Реферат

1. Способ (3) изготовления формы (39, 39', 39''), включающий следующие этапы: ! a) обеспечение (10) подложки (9, 9'), которая имеет верхний слой (21, 21') и нижний слой (23, 23'), которые изготавливаются из электропроводящего материала на основе кремния и скрепляются друг с другом через электроизолирующий промежуточный слой (22, 22'); ! b) травление (11, 12, 14, 2, 4) в верхнем слое (21, 21') до промежуточного слоя (22, 22') по меньшей мере одного шаблона (26, 26', 27) с тем, чтобы образовать в указанной форме по меньшей мере одну полость (25, 25'); ! c) нанесение (6, 16) на верхнюю часть указанной подложки электроизолирующего покрытия (30, 30'); ! d) направленное травление (8, 18) указанного покрытия и указанного промежуточного слоя с тем, чтобы ограничить их наличие исключительно на вертикальных стенках (31, 31', 33), образующихся в указанном верхнем слое. ! 2. Способ (3) по п.1, отличающийся тем, что на этапе b) выполняется травление по второму шаблону (27) для получения по меньшей мере одной выемки (28), которая соединяется с указанной по меньшей мере одной полостью и обеспечивает наличие на указанном верхнем слое второго уровня. ! 3. Способ (3) по п.1, отличающийся тем, что после этапа d) устанавливается часть (27') для получения по меньшей мере одной выемки (28'), которая соединяется с указанной по меньшей мере одной полостью и обеспечивает наличие в указанной форме второго уровня. ! 4. Способ (3) по п.1, отличающийся тем, что он включает следующий завершающий этап: ! e) получение (8, 18) с помощью фотолитографии в указанной по меньшей мере одной полости стержня (29, 29') для образования в будущей изготавливаемой в указанной форме детали (41, 41') отверстия (42, 42'). ! 5. Способ (3) по п.1, отличающийся тем, что после пред