Форма для гальванопластики и способы ее изготовления - RU2010109439A

Реферат

1. Способ (3) изготовления формы (39, 39′), включающий следующие этапы: ! a) осаждение (9) токопроводящего слоя на верхней (20) и нижней (22) поверхностях подложки (21), изготовленной из материала на основе кремния; ! b) прикрепление (13) указанной пластины к подложке (23) с помощью липкого слоя; ! c) удаление (15) одной части (26) указанного проводящего слоя с верхней поверхности пластины (21); ! d) травление (17) указанной пластины до удаления проводящего слоя (22) на ее нижней поверхности в форме (26) указанной части, удаленной с проводящего слоя (22) на ее верхней поверхности, с тем, чтобы получить в указанной форме по меньшей мере одну полость (25). ! 2. Способ (3) по п.1, отличающийся тем, что после этапа d) он включает следующий этап: ! e) установку (19) части (27) на верхнем проводящем слое (20) указанной пластины для получения в указанной форме второго уровня. ! 3. Способ (3) по п.2, отличающийся тем, что этап е) обеспечивается структурированием светочувствительной смолы фотолитографией. ! 4. Способ (3) по п.2, отличающийся тем, что этап е) обеспечивается прикреплением части (27), изготовленной из подвергнутого предварительному травлению материала на основе кремния. ! 5. Способ (3) по п.1, отличающийся тем, что после этапа d) он включает следующий этап: ! f) получение фотолитографией в указанной по меньшей мере одной полости (25) стержня (29) для создания в указанной детали отверстия для вала (42). ! 6. Способ (3) по п.1, отличающийся тем, что клейкий слой (24) и нижний проводящий слой (22) поменяны местами. ! 7. Способ (3) по п.1, отличающийся тем, что клейкий слой (24) включает светочувствительную смолу. ! 8. Способ (3) по п.1, отличающийся тем, что подложка (23) включает материал на основе кремни