Зубчатая передача, выполненная из материала, допускающего возможность микрообработки, и способ ее изготовления - RU2010140960A

Реферат

1. Способ (1) изготовления зубчатой передачи (51, 51'), который включает в себя следующие этапы: ! a) подготовка основания (2) субстрата (29), включающего в себя верхний слой (31) и нижний слой (33), которые выполнены из материала, допускающего возможность микрообработки, и соединены между собой через промежуточный слой (32); ! b) травление (3), по меньшей мере, одного рисунка (34) в верхнем слое (31) и промежуточном слое (32) до обнажения нижнего слоя (33), чтобы выполнить, по меньшей мере, одну первую выемку (35), соответствующую первому колесу (55, 55'); ! c) нанесение (5), по меньшей мере, на дно каждой из указанных первых выемок (35) электропроводящего покрытия (37); ! d) электролитическое формование (9) материала, по меньшей мере, в нижней части каждой из указанных первых выемок (35); ! e) травление (13) второго рисунка (44) в нижнем слое (33) до самого покрытия (37) из указанного электропроводящего материала, чтобы выполнить, по меньшей мере, одну вторую выемку (45), соответствующую второму колесу (57, 57'); ! f) размещение (16) фоточувствительного слоя (42, 43, 48) полимера на дне нижнего слоя (33), чтобы данный фоточувствительный слой образовал покрытие (51) на стенках каждой из указанных вторых выемок (45) и каждого углубления (49), которое граничит с соответствующей второй выемкой (45) и коаксиально ей; ! g) продолжение (19) электролитического формования, начатого на этапе d), для заполнения каждой из указанных первых выемок (35) и начало электролитического формования (19) материала в каждой из указанных вторых выемок (45) и каждом из указанных углублений (49), чтобы выполнить вал (53, 53'), снабженный фланцем (52, 52'); ! h) удаление (21) фоточувствительного слоя (38, 40, 42, 43, 48) полимера ! i) удаление (23) про�