Усовершенствованные стабилизация и рабочие характеристики автокаталитических неэлектрохимических способов - RU2007126815A

Реферат

1. Способ нанесения на подложку металлопокрытия с использованием ванны для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия, причем указанная ванна включает поверхностно-активное вещество, причем указанный способ включает приведение подложки в контакт с ванной, отличающийся тем, что ванну эксплуатируют выше температуры помутнения раствора, находящегося в ванне, таким образом, что в ванне присутствуют, по крайней мере, две фазы.

2. Способ по п.1, где в ванне присутствуют две фазы.

3. Способ по п.1, где металл выбран из группы, состоящей из Ag, Cu, Pd и Со.

4. Способ по п.3, где металл выбран из группы, состоящей из Ag и Cu.

5. Способ по п.4, где металл представляет собой Ag.

6. Способ по любому из пп.1-5, где ванну для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия эксплуатируют при температуре между 20°С и 100°С, предпочтительно между 23-85°С, более предпочтительно между 50-80°С.

7. Способ по любому из пп.1-5, где поверхностно-активное вещество присутствует в концентрации в диапазоне от 0,01 г/л до 10 г/л включительно, предпочтительно от 0,1 г/л до 1,0 г/л включительно, более предпочтительно от 0,1 г/л до 0,3 г/л включительно.

8. Способ по любому из пп.1-5, где поверхностно-активное вещество является неионогенным.

9. Способ по п.8, где поверхностно-активное вещество представляет собой алкиленоксидное соединение.

10. Способ по п.9, где поверхностно-активное вещество включает мономерные звенья этиленгликоля.

11. Способ по п.10, где поверхностно-активное вещество представляет собой этоксилат нонилфенола.

12. Способ по любому из пп.1-5, где ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия дополнительно включает полиэтиленгликоль с молекулярной массой от 100 до 4000, где часть полимера растворима в водном растворе.

13. Способ по любому из пп.1-5, где ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия дополнительно включает рН-увеличивающую добавку.

14. Способ по п.13, где рН-увеличивающая добавка представляет собой основание, такое как, например, основная соль металла.

15. Способ по любому из пп.1-5, где рН ванны для нанесения металлопокрытия лежит между 9,5 и 13, предпочтительно между 10 и 12.

16. Способ по любому из пп.1-5, где ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия дополнительно включает кислоту.

17. Способ по п.16, где кислота представляет собой борную кислоту.

18. Способ по любому из пп.1-5, где ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия дополнительно включает восстановитель.

19. Способ по п.18, где восстановитель выбран из группы, включающей гидриды и металлогидридные соли бора и алюминия, глюкамины, декстрозу, глиоксаль, сегнетову соль, смеси сегнетовой соли и кристаллического сахара, инвертированный сахар, ион кобальта, гидриды, металлогидридные соли, гидразин, сульфат гидразина, диметиламинборан, диэтиламинборан, триэтиламинборан, формальдегид, гипофосфит, глюконаты, многоатомные спирты, альдоновую кислоту, альдоновый лактон и сульфиды.

20. Способ по любому из пп.1-5, где металл присутствует в концентрации между 0,05-5 г/л, предпочтительно 0,3-3 г/л, более предпочтительно 0,4-2,0 г/л.

21. Способ по любому из пп.1-5, дополнительно включающий стадию нанесения слоя золота поверх слоя металла по п.1 посредством нанесения погружением.

22. Способ по п.21, в котором металл по п.1 представляет собой серебро.

23. Способ по любому из пп.1-5, где подложка представляет собой кремниевую поверхность, и металл представляет собой серебро.

24. Способ по п.23, где между кремниевой поверхностью и серебром отсутствует промежуточный слой.

25. Предмет, покрытый с использованием способа по любому из пп.21-23.

26. Ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения серебряного покрытия, включающая i) водный раствор соли серебра; и ii) замещенное алкиленоксидное соединение; iii) борную кислоту.

27. Ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения серебряного покрытия по п.26, где металл присутствует в концентрации между 0,5-5 г/л, предпочтительно 0,3-3 г/л, более предпочтительно 0,4-2 г/л.

28. Ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия по любому из пп.26-27, где замещенное алкиленоксидное соединение представляет собой этоксилат нонилфенола.

29. Ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия по любому из пп.26-27, где замещенное алкиленоксидное соединение присутствует в концентрации в диапазоне от 0,01 г/л до 10 г/л включительно, предпочтительно от 0,1 г/л до 1 г/л включительно, более предпочтительно от 0,1 г/л до 0,3 г/л включительно.

30. Ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия по любому из пп.26-27, дополнительно включающая полиэтиленгликоль с молекулярной массой от 100 до 4000, где часть полимера растворима в водном растворе.

31. Ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия по любому из пп.26-27, где полиэтиленгликоль присутствует в концентрации вплоть до 0,2 г/л.

32. Ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия по любому из пп.26-27, дополнительно включающая основание.

33. Ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия по любому из пп.26-27, где основание выбрано из группы, включающей гидроксиды металлов I и II групп и органическое основание.

34. Ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия по любому из пп.26-27, дополнительно включающая восстановитель.

35. Ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия по п.34, где восстановитель выбран из группы, включающей гидриды и металлогидридные соли бора и алюминия, глюкамины, декстрозу, глиоксаль, сегнетову соль, смеси сегнетовой соли и кристаллического сахара, инвертированный сахар, ион кобальта, гидриды, металлогидридные соли, гидразин, сульфат гидразина, диметиламинборан, диэтиламинборан, триэтиламинборан, формальдегид, гипофосфит, глюконаты, многоатомные спирты, альдоновую кислоту, альдоновый лактон и сульфиды.

36. Ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия по любому из пп.26-27, дополнительно включающая комплексообразователь.

37. Ванна для автокаталитического неэлектрохимического нанесения металлопокрытия по п.36, где комплексообразователь выбран из группы, включающей ЭДТК, сегнетову соль, лимонную кислоту, цитрат натрия, янтарную кислоту, проприоновую кислоту, гликолевую кислоту, ацетат натрия, молочную кислоту, пирофосфат натрия, пиридиний-3-сульфоновую кислоту, тартрат калия, Quadrol, фосфат натрия, цитрат калия, борат натрия, цианид натрия, цианид калия, триэтилентетрамин и метиламин.

38. Способ автокаталитического нанесения покрытия из металлического серебра непосредственно на кремниевую поверхность без необходимости в промежуточном слое металла, причем способ включает i) травление кремниевой поверхности; ii) погружение кремниевой поверхности в ванну по п.26; iii) предоставление возможности кремниевой поверхности покрыться металлическим серебром; и iiii) извлечение покрытой серебром кремниевой поверхности из ванны.