Электролитическая ячейка, оборудованная микроэлектродами - RU2015120786A

Реферат

1. Электролитическая ячейка для выработки неразделенных анодных и катодных продуктов, состоящая из литографически структурируемой подложки, имеющей поверхность, множество анодных и катодных микроэлектродов, сформированных на упомянутой поверхности, причем упомянутые анодные и катодные микроэлектроды взаимно вставлены один в другой с межэлектродным промежутком менее 100 микрометров и имеют среднюю шероховатость Ra поверхности менее 0,05 мкм.2. Электролитическая ячейка по п. 1, в которой упомянутая средняя шероховатость Ra поверхности составляет менее 0,01 мкм.3. Электролитическая ячейка по п. 1, в которой по меньшей мере упомянутые анодные микроэлектроды включают в себя внешний слой, состоящий из осажденной в вакууме пленки легированного бором алмаза.4. Электролитическая ячейка по п. 1, в которой упомянутые микроэлектроды включают в себя внешний слой, выполненный из материала, содержащего по меньшей мере один элемент, выбранный из группы, состоящей из Pt, Pd, Ir, Ru, Rh, Nb и Ti.5. Электролитическая ячейка по любому из предшествующих пунктов, в которой упомянутая литографически структурируемая подложка выполнена из полупроводникового материала.6. Электролитическая ячейка по п. 4, включающая в себя промежуточный слой из металлического материала, выбранного из группы, состоящей из Co, Cr, Mo, W, Ni, Ti и их сплавов, расположенный между упомянутым внешним слоем и упомянутой литографически структурируемой подложкой.7. Электролитическая ячейка по п. 3, в которой упомянутый внешний слой состоит из пленки легированного бором алмаза, содержащей по меньшей мере 5000 млнлегирующей примеси бора.8. Способ изготовления электролитической ячейки, включающий в себя следующие этапы:- снабжение