Тонкопленочная многослойная структура, компонент, включающий такую структуру, и способ ее осаждения - RU2008135371A

Реферат

1. Коррозионностойкая тонкопленочная многослойная структура, обладающая низкой скоростью изнашивания и низким коэффициентом трения, отличающаяся тем, что она содержит: ! от 1 до 1000 групп, предпочтительно, от 1 до 500 групп, причем одна группа содержит от 2 до 100 слоев (А, В) на основе углерода, кремния и водорода, предпочтительно, от 2 до 10 слоев; и ! необязательно, функциональный поверхностный слой (FSL). ! 2. Структура по п.1, отличающаяся тем, что ее общая толщина составляет 10 мкм или менее. ! 3. Структура по п.2, отличающаяся тем, что ее общая толщина составляет от 1 до 6 мкм. ! 4. Структура по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что каждый слой (А, В) в группе состоит из углерода, кремния и водорода с атомным отношением Si/C в диапазоне от 0,3 до 1,5 и содержит от 10 до 30 ат.% водорода. ! 5. Структура по п.1, отличающаяся тем, что толщина (ад, ав) каждого слоя изменяется от 5 нм до 5 мкм. ! 6. Структура по п.1 или 2, отличающаяся тем, что каждый слой (А, В) группы, независимо от других слоев в группе, обладает твердостью от 1 до 100 ГПа и модулем Юнга от 10 до 600 ГПа. ! 7. Структура по п.1, отличающаяся тем, что функциональный поверхностный слой (FSL) содержит, главным образом, углерод. ! 8. Структура по п.7, отличающаяся тем, что функциональный поверхностный слой (FSL) содержит от 30 до 100% углерода. ! 9. Структура по п.7 или 8, отличающаяся тем, что ! функциональный поверхностный слой (FSL) содержит дополнительные элементы, выбранные из кремния, водорода, серы, фтора, титана и вольфрама, в пропорции от 0 до 70 ат.%. ! 10. Структура по п.1, отличающаяся тем, что толщина (dpsi.) функционального поверхностного слоя составляет 3 мкм или менее. ! 11. Структура по п.10, отличающаяся тем, что толщина (dpsb) функцио