Вакуумный затвор - SU889742A1

Код документа: SU889742A1

Чертежи

Описание

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом обору довании. Известен вакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещения f 1 Однако этот вакуумный затвор имеет недостаточно высокую надежность уплотнения, обусловленную тем, что отверстие в корпусе уплотняется толь ко в одном месте. Поэтому при наруше нии уплотнения в этом месте происходит разгерметизация вакуумной системы . Кроме того, необходимость слож ной конструкции привода, вызванная взаимным расположением отверстия и фланца с уплотнением, также снижает надежность уплотнения. Наиболее близким по технической сущности является вакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещения, причем на сопрягаемых поверхностях корпуса и фланца выполнены соответственно углубления и выступ. Этот затвор имеет более простую конструкцию . Недостаток данного затвора заключается в том, что при вьтолнении фланца с уплотнением цилиндрической формы надежность герметизации является недостаточно высокой, так как в этом случае имеет место неравномерное распределение усилий по криволинейной поверхности углубления в корпусе в месте уплотнения. Цель изобретения - повьшение надежности герметизации. Указанная цель достигается тем, что в вакуумном затворе, содержащем корпус с отверстием, фланец с уплотнением , соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещения, причем на сопрягаемых поверхностях

Реферат

Формула

Патенты аналоги

Авторы

Заявители

СПК: C23C14/56 C23C14/566

Публикация: 1981-12-15

Дата подачи заявки: 1980-04-09

0
0
0
0
Невозможно загрузить содержимое всплывающей подсказки.
Поиск по товарам