Установка для электронно-лучевого нанесения покрытий - RU2004112868A

Реферат

1. Установка для электронно-лучевого нанесения покрытий, которая состоит из технологической камеры, в которой расположены тигли и электронные пушки, форкамеры для загрузки-разгрузки кассет с изделиями, которые покрываются, отличающаяся тем, что кассета с изделиями, которые покрываются, нижней неподвижной конической шестерней устанавливается на расположенной на нижней крышке технологической камеры вертикальной опоре, в середине которой вращается вал, который входит в зацепления с верхней подвижной конической шестерней кассеты.

2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что между подвижной и неподвижной коническими шестернями установлены конические шестерни с закрепленными на них изделиями.

3. Установка по п.1, отличающаяся тем, что при вращении верхней подвижной конической шестерни, конические шестерни с закрепленными на них изделиями катятся по нижней неподвижной конической шестерне, одновременно вращаясь вокруг собственной продольной оси.

4. Установка по п.1, отличающаяся тем, что оснащена переходной камерой, которая предназначена для транспортирования кассет с изделиями из технологической камеры к форкамере, где осуществляется перезагрузка кассет.

5. Установка по п.1, отличающаяся тем, что оснащена манипулятором, который расположен в переходной камере для установки и снятия кассет и транспортирования их к форкамере.

6. Установка по любому из пп.1-5, отличающаяся тем, что манипулятор выполнен в виде тележки, которая передвигается по направляющим, которые установлены в переходной камере, по которой с помощью привода передвигается шток для захвата кассет.