Нанослойное покрытие для высококачественных инструментов - RU2014102998A

Реферат

1. Способ изготовления изделия с покрытием, в котором на поверхность подложки наносят покрытие, содержащее наноламинарную структуру 5 из чередующихся нанослоев А, состоящих из по меньшей мере 90 ат.% AlTiN, и нанослоев В, состоящих из по меньшей мере 90 ат.% TiSiN, при этом используют по меньшей мере один источник дугового испарения для нанесения наноламинарной структуры, отличающийся тем, что упомянутый по меньшей мере один источник дугового испарения включает в себя предусмотренное на мишени магнитное приспособление для создания магнитных полей на поверхности мишени и над ней, причем это магнитное приспособление включает крайние постоянные магниты, центральный постоянный магнит и по меньшей мере одну размещенную позади мишени кольцевую катушку, внутренний диаметр которой, определяемый обмотками, меньше или равен и, в любом случае, незначительно больше диаметра мишени, и во время нанесения наноламинарной структуры крайние постоянные магниты расположены удаленно от мишени, на расстоянии несколько миллиметров по отношению к мишени, таким образом, что проекция крайних постоянных магнитов на поверхность мишени находится дальше от середины поверхности мишени по сравнению с проекцией кольцевой катушки на поверхность мишени, а центральный постоянный магнит расположен позади относительно мишени.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что расстояние между постоянными магнитами и мишенью составляет между 6 и 10 мм, предпочтительно примерно 8 мм.3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что применяют отрицательный ток в катушке.4. Способ по п. 3, отличающийся тем, что сила подаваемого в катушку тока составляет между -0,1 и -1 А.5. Способ изго