Система нанесения покрытия на основе обратной литографии с держателем подложки оптимизированной по плотности высокоинтенсивной установки обратной литографии (hula) в конической камере для осаждения - RU2011138995A

Реферат

1. Аппарат для осаждения материала на подложку путем выпаривания, используя процесс обратной литографии, и данный аппарат включает:- корпус конической формы с купольным верхом, нижнее отверстие и боковую стену, которая сходится от купольного верха по направлению к нижнему отверстию;- источник напыления, расположенный рядом с низом и спрямленный с первой осью, которая проходит через центральную точку купольного верха;- центральный куполообразный элемент, расположенный выше источника напыления рядом с купольным верхом, имеющим центральную точку, спрямленную с первой осью, где центральный куполообразный элемент вращается относительно центральной точки;- один или несколько орбитальных элементов в форме купола, расположенных выше источника напыления рядом с купольным верхом и на постоянном радиусе от центральной точки купольного верха, где один или несколько элементов в форме купола вращаются относительно первой оси, и где каждый орбитальный куполообразный элемент одновременно вращается относительно второй оси, которая проходит через центральную точку орбитального куполообразного элемента; причем один или несколько орбитальных элементов в форме купола преимущественно одинаковы по диаметру и вогнутости с центральным элементом в форме купола;- маску для улучшения равномерности осаждения, расположенную между источником напыления и центральным куполообразным элементом; причем маска для улучшения равномерности осаждения эксплутационно находится в зацеплении для использования только с центральным элементом в форме купола; и один или несколько положений для приема пластин, расположенных внутри одного �