Декоративные hipims-слои из высокопрочных материалов - RU2016102152A

1. Способ нанесения покрытий по меньшей мере на частичные области поверхности подложки, и, соответственно, изготовления подложек с областью поверхности, имеющей декоративный слой из высокопрочного материала, в камере для нанесения покрытий, причем для изготовления слоя из высокопрочного материала применяют реакционный HIPIMS-процесс (магнетронного распыления импульсами высокой мощности), в котором используют по меньшей мере один реакционный газ, и используют по меньшей мере одну мишень из материала, который при проведении HIPIMS-процесса может реагировать с реакционным газом таким образом, что в результате этого образуется слой с предварительно заданным цветом, отличающийся тем, что HIPIMS-процесс проводят с использованием импульсов мощности и/или последовательностей импульсов мощности с количеством энергии в расчете на площадь мишени по меньшей мере 0,2 Джоуля/см² на каждый импульс (1) мощности или, соответственно, на каждую последовательность (3) импульсов мощности, и благодаря этому создают однородную глубину цвета слоя из высокопрочного материала.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что количество энергии в расчете на площадь мишени в импульсах мощности и/или последовательностях импульсов мощности составляет по меньшей мере 1 Джоуль/см² на каждый импульс (1) мощности или, соответственно, на каждую последовательность (3) импульсов мощности.

3. Способ по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что количество энергии в расчете на площадь мишени в импульсах мощности и/или последовательностях импульсов мощности составляет по меньшей мере 10 Джоулей/см² на каждый импульс (1) мощности или, соответственно, на каждую последовательность (3) импульсов мощности.

4. Способ по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что количество энергии в расчете на площадь мишени в импульсах мощности и/или последовательностях импульсов мощности нагружают при установке удельной мощности соответственно на каждую последовательность (3) импульсов мощности.

5. Способ по одному из предшествующих пп. 1-3, отличающийся тем, что количество энергии в расчете на площадь мишени в импульсах мощности и/или последовательностях импульсов мощности нагружают при установке длительности (t_Puls) импульсов мощности и, соответственно, длительности (t_Pulssequenz) последовательности импульсов мощности.

6. Способ по одному из пп. 4 или 5, отличающийся тем, что удельную мощность устанавливают на величину по меньшей мере 100 Вт/см².

7. Способ по п.6, отличающийся тем, что удельную мощность устанавливают на величину по меньшей мере 500 Вт/см².

8. Способ по п.7, отличающийся тем, что удельную мощность устанавливают на величину по меньшей мере 1000 Вт/см².

9. Способ по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что температуру подложки поддерживают настолько низкой, что могут быть покрыты термически чувствительные подложки, которые нельзя подвергать нагреванию до температур выше 200ºС, или даже более низких.

10. Способ по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что в качестве реакционного газа используют газообразный азот, газообразный кислород или углеродсодержащий газ, или их смесь.

11. Способ по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что мишень содержит титан, или титан и алюминий, или цирконий.

12. Способ по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что мишень состоит из титана, или из титана и алюминия, или из циркония.

13. Способ по п.12, отличающийся тем, что мишень состоит из титана, и в качестве реакционного газа применяется газообразный азот, причем концентрацию газообразного азота в камере для нанесения покрытий контролируют регулированием потока газообразного азота, и поток газообразного азота регулируют таким образом, что глубина цвета соответствует цвету соответственного сорта золота 2N18, или 1N14, или 3N18.

14. Слой из высокопрочного материала, который изготовлен с использованием способа по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что слой из высокопрочного материала имеет твердость по меньшей мере 30 ГПа.

15. Декоративный предмет со слоем из высокопрочного материала по п.14.