Способ изготовления изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности - RU2005103321A

Реферат

1. Способ изготовления изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности, включающий синтез пленки карбида кремния на поверхности подложки при совместном нагреве подложки и углеродсодержащего материала, отличающийся тем, что в качестве углеродсодержащего материала используют твердый материал, который приводят в механический контакт с подложкой путем приложения давления, а нагрев осуществляют при температуре 1100-1400°С.

2. Способ изготовления изделия по п.1, отличающийся тем, что в качестве углеродсодержащего материала используют материал с содержанием углерода более 90% масс.

3. Способ изготовления изделия по п.1, отличающийся тем, что механический контакт осуществляют путем приложения давления более 1,5 Па.

4. Способ изготовления изделия по п.1, отличающийся тем, что механический контакт осуществляют с частью поверхности подложки.

5. Способ изготовления изделия по п.1, отличающийся тем, что в качестве углеродсодержащего материала используют, материал из группы: искусственный графит, стеклоуглерод, пирографит, углеситалл, графитовая фольга.

6. Способ изготовления изделия по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что после нагрева осуществляют дополнительное травление и/или термообработку.

7. Способ изготовления изделия по п.6, отличающийся тем, что травление осуществляют в кислотах-окислителях.

8. Способ изготовления изделия по п.7, отличающийся тем, что травление осуществляют в хлорной или азотной кислоте.

9. Способ изготовления изделия по п.6, отличающийся тем, что термообработку осуществляют в вакууме или среде инертного газа при температуре 1100-1400°С.

10. Способ изготовления изделия по п.6, отличающийся тем, что термообработку осуществляют в кислородсодержащей среде при температуре 500-800°С.

11. Способ изготовления изделия по п.10, отличающийся тем, что термообработку осуществляют на воздухе.