Способ модификации поверхностных свойств материалов и изделий - RU2011118209A

Реферат

1. Способ модификации поверхностных свойств материалов (изделий) плазменной обработкой в вакууме, включающий загрузку материалов (изделий) в камеру, вакуумную откачку камеры, плазменную обработку материалов (изделий) и выгрузку материалов (изделий) из камеры, отличающийся тем, что, с целью увеличения эффективности и качества модификация поверхностных свойств материалов (изделий) осуществляется их обработкой катодными пятнами 1 и/или 2 и/или 3 типа вакуумного дугового разряда с поверхностным переплавом материалов (изделий) при возбуждении в камере вакуумного дугового разряда и инициации катодных пятен 1 и/или 2 и/или 3 типа на поверхности материалов (изделий) и регулируется величинами давления, тока вакуумного дугового разряда и временем обработки, причем давление в камере не более 1 Па, напряжение вакуумного дугового разряда не менее 10 В, ток вакуумного дугового разряда не менее 1 А.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для возбуждения и поддержания вакуумного дугового разряда используют постоянное напряжение между катодом и анодом.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что для возбуждения и поддержания вакуумного дугового разряда используют импульсно-периодическое напряжение между катодом и анодом с произвольным соотношением длительностей импульса и паузы.4. Способ по п.1, или 2, или 3, отличающийся тем, что после вакуумирования камеру заполняют инертным газом и/или рабочим газом, в среде которого проводят возбуждение и поддержание вакуумно-дугового разряда.5. Способ по п.1, или 2, или 3, отличающийся тем, что локализацию катодных пятен на обрабатываемой поверхности и управление их перемещением по поверхности осуществля