Способ изготовления компонента устройства осаждения капель - RU2006105021A

Реферат

1. Способ формирования компонента пластины с соплами для устройства осаждения капель, содержащий операции формирования тела из первого материала, причем указанное тело имеет периферию, формирования покрытия из второго материала вокруг указанного тела, так что покрытие простирается по меньшей мере на части периферии указанного тела, и формирования сопла, которое проходит сквозь указанное тело.

2. Способ по п.1, в котором покрытие формируют с помощью гальванопластики.

3. Способ по п.1, в котором первый материал формируется как слой на подложке, причем указанный слой подвергают обработке с целью получения множества тел.

4. Способ по п.3, в котором указанное множество тел выполнено в форме сетки, соответствующей нужной сетке сопел в готовой пластине с соплами.

5. Способ по п.3, в котором операция обработки содержит шаги по нанесению маски из указанного слоя, обработки указанного слоя облучением и удаления частей указанного слоя.

6. Способ по п.1, в котором сопла получают путем сквозной абляции указанного тела.

7. Способ по п.1, в котором первый материал является пластмассой.

8. Способ по п.1, в котором второй материал является металлом.

9. Способ по п.1, в котором первый материал является фоторезистом и предпочтительно негативным фоторезистом.

10. Способ по п.1, в котором пластина крепится к устройству осаждения капель до формирования указанного сопла.

11. Способ формирования пластины с соплами для устройства осаждения капель, при котором пластина с соплами ограничивается плоскостью пластины с соплами и содержит пластину, имеющую по меньшей мере один слой пластины с соплами и множество сопел, причем каждое сопло проходит сквозь пластмассу, помещенную внутри отверстия в пластине с соплами, отличающийся тем, что содержит операции образования множества отдельных тел из полимерного материала, распределенных по плоскости пластины с соплами, и формирования по меньшей мере одного металлического слоя пластины с соплами путем нанесения методом гальванопластики вокруг указанных тел из полимерного материала.

12. Способ по п.11, в котором пластина с соплами содержит первый слой пластины с соплами, содержащий указанные отверстия и полимерный материал, помещенный в указанных отверстиях, сквозь который проходят сопла, и второй слой пластины с соплами, который содержит защитный слой.

13. Способ по п.12, в котором защитный слой содержит для каждого сопла защитное отверстие, размеры которого в плоскости сопла превышают размеры сопла и меньше размеров полимерного материала, сквозь который проходит сопло.

14. Способ по п.12, в котором второй слой пластины с соплами формируют в ходе операций образования множества отдельных тел из полимерного материала защитного слоя, распределенных по первому слою пластины с соплами, формирование указанного защитного слоя методом гальванопластики вокруг указанных тел из полимерного материала и удаление указанного полимерного материала защитного слоя.

15. Способ по п.14, в котором указанный полимерный материал защитного слоя удаляют до формирования сопел.

16. Способ по п.14, в котором сопла формируют путем абляции перед удалением указанного полимерного материала защитного слоя.

17. Способ по п.11, в котором пластина с соплами содержит первый слой пластины с соплами, содержащий указанные отверстия и полимерный материал, помещенный в указанных отверстиях, сквозь который проходят сопла, и второй слой пластины с соплами, который содержит слой соединительных проводников.

18. Способ формирования компонента пластины с соплами для устройства осаждения капель, содержащий следующие операции: формирование слоя первого фоторезистного материала на подложке, избирательное проявление и удаление фоторезистного материала с целью получения на подложке сетки из отдельных тел из первого материала, формирование первого металлического покрытия вокруг указанных тел, так чтобы сформировать металлическую пластину с соплами, имеющую отверстия, каждое из которых содержит тело из указанного первого материала, и формирование сопла, проходящего сквозь каждое тело.

19. Способ по п.18, который содержит также операцию нанесения металлического слоя на подложку перед формированием слоя первого фоторезистного материала, причем указанное первое металлическое покрытие формируется методом гальванопластики с указанным металлическим слоем, который служит затравочным слоем.

20. Способ по п.18, который содержит также следующие операции: формирование слоя второго фоторезистного материала на первом металлическом покрытии, избирательное проявление и удаление фоторезистного материала с целью получения сетки из отдельных тел из второго материала, совмещенных соответственно с телами из первого фоторезистного материала, формирование первого металлического покрытия вокруг указанных тел из второго материала и удаление второго материала для формирования отверстий в защитном покрытии, соответственно совмещенных с соплами.