Устройство для нагнетания текучей среды и нанесения капель - RU2004127936A

Реферат

1. Устройство для нанесения капель, содержащее стенки камеры, ограничивающие камеру для жидкости, причем одна из указанных стенок камеры является упруго деформируемой в направлении приведения в действие; сопло для эжекции, соединенное с камерой; средство подачи жидкости для создания непрерывного потока жидкости через камеру; акустические границы, служащие для отражения акустических волн в жидкости в камере; и исполнительный механизм, вынесенный из камеры и из средства подачи жидкости, действующий в указанном направлении приведения в действие на упруго деформируемую стенку камеры, чтобы создать акустические волны в жидкости в камере и посредством этого вызвать эжекцию капель через сопло.

2. Устройство по п.1, в котором акустические границы служат для негативного отражения акустических волн в жидкости в канале.

3. Устройство по п.1, в котором упруго деформируемая стенка камеры образует уплотнение, изолирующее исполнительный механизм от текучей среды в камере.

4. Устройство по п.1, в котором указанная камера для текучей среды содержит удлиненный канал для жидкости, и упруго деформируемая стенка камеры содержит стенку удлиненного канала.

5. Устройство по любому из предыдущих пунктов, в котором упруго деформируемая стенка камеры содержит по существу жесткий элемент, который может передавать силу от исполнительного механизма к текучей среде в канале, и по меньшей мере один первый гибкий элемент.

6. Устройство по п.5, в котором указанная упруго деформируемая стенка камеры содержит множество гибких элементов, расположенных так, чтобы ограничить движение жесткого элемента в направлении приведения в действие.

7. Устройство по п.6, в котором по меньшей мере один из гибких элементов контактирует с текучей средой в канале и является жестким по отношению к давлению текучей среды.

8. Устройство по п.5, в котором гибкие элементы расположены, как соединение в виде параллелограмма, по отношению к жесткому элементу.

9. Устройство по любому из пп. 6-8, в котором исполнительный механизм содержит толкатель, действующий на жесткий элемент.

10. Устройство по п.9, в котором толкатель служит якорем в устройстве электромагнитного исполнительного механизма.

11. По существу плоский компонент для использования в устройстве для нагнетания текучей среды, содержащий: первый плоский слой, имеющий упруго деформируемые части; второй плоский слой, параллельный первому слою, имеющий соответствующие упруго деформируемые части; и множество исполнительных механизмов, имеющих направления приведения в действие, размещенных между указанными двумя слоями и соединенных с внутренними поверхностями этих двух слоев в направлении приведения в действие, перпендикулярном двум слоям; в котором исполнительные механизмы могут действовать так, чтобы деформировать выбранные упруго деформируемые части первого и второго слоев в направлении приведения в действие для того, чтобы вызвать изменение давления жидкости в контакте с наружной стороной первого плоского слоя.

12. Компонент по п.11, в котором первый плоский слой является непроницаемым.

13. Компонент по п. 11 или 12, в котором второй плоский слой является проницаемым.

14. Компонент по п. 11 или 12, в котором исполнительные механизмы содержат жесткие толкатели, соединенные между соответствующими упруго деформируемыми частями первого и второго плоских слоев.

15. Компонент по п.14, в котором толкатели ограничены первым и вторым плоскими слоями так, чтобы они двигались только в направлении приведения в действия.

16. Компонент по п.14, в котором толкатель служит якорем в устройстве электромагнитного исполнительного механизма.

17. Способ изготовления устройства для нанесения капель, имеющего первый плоский компонент, содержащий множество жестких стенок каналов, соответствующих комплекту параллельных каналов; упруго деформируемую стенку канала для каждого канала, причем указанные упруго деформируемые стенки канала находятся в общей плоскости; и второй плоский компонент, содержащий линейный исполнительный механизм для каждого канала, причем указанные исполнительные механизмы имеют соответствующие направления приведения в действие, которые являются параллельными; при этом упруго деформируемые стенки каналов расположены между первым и вторым плоскими компонентами и параллельно им в изготовленном устройстве, причем направление приведения в действие проходит перпендикулярно к указанной общей плоскости и исполнительные механизмы служат для приведения в действие соответствующих каналов посредством деформации связанных упруго деформируемых стенок каналов.

18. Способ по п.17, в котором стадия образования первого плоского компонента содержит стадию образования плоской пластины и вытравливания материала с одной плоской поверхности пластины для образования стенок канала.

19. Способ по п.18, в котором стадия образования первого плоского компонента содержит стадию вытравливания материала с другой плоской поверхности пластины для образования упруго деформируемых стенок канала.

20. Способ по п.19, в котором стадия образования первого плоского компонента содержит стадию нанесения материала после вытравливания материала с указанной одной плоской поверхности, причем стадия вытравливания материала с другой плоской поверхности пластины служит для образования слоя указанного нанесенного материала, как упруго деформируемой стенки канала.

21. Способ по п.19, в котором стадия вытравливания материала с другой плоской поверхности пластины для образования упруго деформируемых стенок канала служит для того, чтобы оставить для каждого канала толкатель, соединенный со связанной упруго деформируемой стенкой канала.

22. Способ по п.21, в котором каждый толкатель проходит по существу вдоль длины связанного с ним канала.

23. Способ по п.19, в котором стадия травления содержит глубокое реактивное ионное травление.

24. Способ по любому из пп. 17-23, в котором указанная пластина образована из кремния, и указанный нанесенный материал содержит SiO₂ или SiN.

25. Способ по любому из пп. 17-23, в котором указанный второй компонент изготовлен посредством повторяющегося образования и выборочного удаления слоев.