Реакционная камера с дифференцированной температурой - RU2008121715A

Реферат

1. Реакционная камера для эпитаксиального реактора, имеющая стенки, ограничивающие внутреннюю полость, более конкретно, нижнюю стенку, верхнюю стенку и по меньшей мере две боковые стенки, и включающая средства нагрева стенок камеры, причем нижняя и верхняя стенки выполнены с различными конфигурациями и/или из различных материалов, отличающаяся тем, что указанные различные конфигурации и/или различные материалы таковы, что вызывают нагрев нижней стенки до более высокой температуры, чем нагрев верхней стенки. ! 2. Реакционная камера по п.1, в которой нижняя стенка и/или верхняя стенка расположены по существу горизонтально, когда камера находится в рабочем состоянии. ! 3. Реакционная камера по п.1, которая по существу сформирована в виде цилиндра, ось которого расположена по существу горизонтально, когда камера находится в рабочем состоянии, и в которой внутренняя полость расположена вдоль оси указанного цилиндра и выполнена с поперечным сечением, которое является по существу прямоугольным и по существу равномерным вдоль оси указанного цилиндра ! 4. Реакционная камера по п.1, в которой нижняя стенка сформирована по существу в форме полого полумесяца, а верхняя стенка сформирована по существу в форме полумесяца или пластины. ! 5. Реакционная камера по п.1, в которой нижняя стенка включает первую полость, а верхняя стенка включает вторую полость, которые имеют по существу различные размеры. ! 6. Реакционная камера по п.1, в которой длина периметра сечения и/или площадь сечения верхней стенки соответственно меньше, чем длина периметра сечения и/или площадь сечения нижней стенки. ! 7. Реакционная камера по п.1, отличающаяся тем,