Маска высокой плотности для трехмерных подложек и способы ее получения - RU2013119135A

Реферат

1. Способ изготовления одной или более теневых масок для использования в сочетании с неплоской подложкой, причем способ включает в себя следующие этапы:изготовление оправки, включающей одну или несколько форм, созданных в ней, при этом одна или несколько форм соответствуют по форме неплоской подложке, на которую должна помещаться маска;формирование одной или более заготовок теневых масок в одной или нескольких формах в оправке;удаление одной или более заготовок теневых масок из оправки; исоздание заданного шаблона в одной или более заготовках теневых масок для формирования одной или более теневых масок, причем заданный шаблон включает элементы, существенно меньшие, чем размер меньше одной или более теневых масок.2. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.1, в котором этап изготовления оправки содержит изготовление по существу цилиндрической структуры с по существу параллельными передней и задней сторонами, и изготовления одной или более неплоских форм на передней стороне.3. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.2, в котором изготовление одной или более неплоских форм на передней стороне включает в себя резку одной или более неплоских форм с помощью токарного станка.4. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.2, в котором изготовление одной или более неплоских форм на передней стороне включает в себя резку одной или более неплоских форм с помощью фрезерного станка.5. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.2, в котором изготовление одной или более неплоских форм на передней стороне включает в себя резку одной или более неплоских форм с помощью станка-�