Способ травления материала на основе кремния - RU2008132685A

Реферат

1. Способ травления кремниевой подложки, включающий приведение кремниевой подложки в контакт с водным раствором: ! фтористоводородой кислоты или ее соли, ! соли металла, способной к химическому осаждению металла на поверхность кремния в присутствии ионов фторида и ! спирта. ! 2. Способ по п.1, в котором соль металла представляет собой соль серебра, возможно нитрат серебра. ! 3. Способ по п.1, в котором: ! а) содержание соли металла, например, содержание серебра или нитрата серебра, в растворе составляет от 5 до 100 мМ, например от 12,6 до 24 мМ, например от 12,6 до 22,1 мМ и/или ! б) фтористая кислота включает фтористый водород, содержание которого составляет: ! 1) от 3 до 20 мас.%, ! 2) от 8 до 20%, ! 3) от 10 до 15%, ! 4) приблизительно 12 или 13,6%. ! 5) от 1,5 до 10 М, ! 6) от 5 до 7,5 М, ! 7) приблизительно 6,8 М и/или ! в) содержание спирта составляет до 40 об.%, например от 3 до 40%, например от 5 до 40%, например от 15 до 30%. ! 4. Способ по п.1, в котором спирт представляет собой этанол. ! 5. Способ по п.1, дополнительно включающий стадию выдержки подложки в растворе при температуре от 0 до 30°C, например 20°С. ! 6. Способ по п.1, дополнительно включающий повышение температуры раствора до температуры от 40 до 75°С. ! 7. Способ по п.1, дополнительно включающий добавление добавочной соли серебра, например нитрата серебра, или соли трехвалентного железа, например нитрата трехвалентного железа, или других веществ, вызывающих увеличение содержания нитрат-ионов, в ходе реализации данного способа. ! 8. Способ по п.7, при условии зависимости от п.6, в котором дополнительную соль серебра, или трехвалентного железа, или других веществ, вызывающих увеличение содержания нитрат-ионов, добавляют при повышении темпе�