Водная полирующая композиция и способ химико-механического полирования подложек, содержащих пленки диэлектрика оксида кремния и поликремния - RU2013115237A

Реферат

1. Водная полирующая композиция, содержащая(A) по меньшей мере, один тип абразивных частиц, содержащих или состоящих из диоксида церия, которые положительно заряжены при диспергировании в водной среде, свободной от компонента (C) и имеющей pH в интервале от 3 до 9, что подтверждается электрофоретической подвижностью;(B) по меньшей мере, один растворимый в воде полимер, выбранный из группы, состоящей из линейных и разветвленных гомополимеров и сополимеров алкиленоксидов; и(C) по меньшей мере, один анионный фосфатный диспергирующий агент,где композиция содержит растворимый в воде полимер (В) в количествах от 0,001 до 5 мас.%.2. Водная полирующая композиция по п.1, отличающаяся тем, что абразивные частицы (А) состоят из диоксида церия.3. Водная полирующая композиция по п.1, отличающаяся тем, что она содержит, в пересчете на полную массу указанной полирующей композиции, от 0,005 до 10 мас.% абразивных частиц (A).4. Водная полирующая композиция по п.1, отличающаяся тем, что линейные и разветвленные гомополимеры и сополимеры алкиленоксидов (B) выбирают из группы, состоящей из гомополимеров и сополимеров этиленоксида и пропиленоксида.5. Водная полирующая композиция по п.4, отличающаяся тем, что она содержит полиэтиленгликоль ПЭГ в качестве гомополимера этиленоксида (B).6. Водная полирующая композиция по п.1, отличающаяся тем, что анионный фосфатный диспергирующий агент (C) выбирают из группы растворимых в воде конденсированных фосфатов.7. Водная полирующая композиция по п.6, отличающаяся тем, что растворимый в воде конденсированный фосфат (C) выбирают из группы, состоящей из метафосфатов общей формулы I:и полифосфатов общей формулы II и III:;,где M явл