Способ удаления водорода из устройства, чувствительного к водороду, с помощью неиспаряемого геттерного сплава на основе иттрия - RU2011142038A

Реферат

1. Способ удаления водорода из устройств, которые чувствительны к его присутствию, с помощью неиспаряемого геттерного сплава, состоящего из первого элемента, содержащего, по меньшей мере, 99 атомн.% иттрия или смеси на основе иттрия, содержащей, по меньшей мере, 95 атомн.% иттрия, вплоть до 4% редкоземельных элементов и вплоть до 1% неизбежных элементов, присутствующих в следовых количествах; и второго элемента, выбранного из Si, B, Ge, Pd, Cd, In, Sb, Tl, Pb, Ag, Bi, в котором атомный процент упомянутого первого элемента составляет:от 65 до 98%, если упомянутый второй элемент выбран из Si, Ge, Pd, Cd, In, Sb, Tl, Pb, Bi;- от 50 до 98%, если упомянутый второй элемент представляет собой Ag, или- от 30 до 98%, если упомянутый второй элемент представляет собой B;и в котором баланс достигается за счет второго элемента.2. Способ по п.1, в котором упомянутый сплав нагревают до температуры, равной 100°C или выше.3. Способ по п.1, в котором атомный процент второго элемента составляет, по меньшей мере, 5%.4. Способ по п.1, в котором атомный процент второго элемента составляет, по меньшей мере, 8%.5. Способ по п.1, в котором упомянутый геттерный сплав присутствует в форме тонкой пленки.6. Способ по п.5, в котором упомянутую пленку получают путем напыления или электронно-лучевого распыления.7. Способ по п.1, в котором упомянутый неиспаряемый геттерный сплав размещают в системе газоочистки.8. Способ по п.1, в котором упомянутый геттерный сплав применяют в геттерных насосах.9. Устройство, чувствительное к водороду, отличающееся тем, что водород удаляется с помощью неиспаряемого геттерного сплава, состоящего из первого элемента, содержащего, по меньшей мере, 99 атомн.% иттрия или смеси на основе иттр�