Способ получения тонких отдельных слоев твердотельных материалов со структурированными поверхностями - RU2011130872A

Реферат

1. Способ литографии, содержащий этапы, на которых: обеспечивают твердотельный материал по меньшей мере с одной открытой поверхностью; наносят вспомогательный слой на открытую поверхность с образованием составной структуры; оказывают воздействие на составную структуру посредством условий, вызывающих формирование распределения напряжений во вспомогательном слое и в твердотельном материале, что способствует разламыванию твердотельного материала, по существу, вдоль плоскости на глубине; и удаляют вспомогательный слой и вместе с ним слой твердотельного материала, заканчивающийся на указанной глубине разлома, при этом открытая поверхность удаленного слоя твердотельного материала имеет топологию поверхности, соответствующую картине указанного распределения напряжений.2. Способ по п.1, в котором по меньшей мере одно из свойств материала вспомогательного слоя изменяется в соответствии с рисунком, в зависимости от местоположения в пределах вспомогательного слоя.3. Способ по п.2, в котором вспомогательный слой представляет собой составную структуру; или по меньшей мере одно из свойств материала вспомогательного слоя, которое изменяется в соответствии с рисунком, влияет на величину и/или ориентацию локальных напряжений, возникающих, когда на вспомогательный слой оказывают воздействие посредством условий, вызывающих указанные напряжения; или указанное по меньшей мере одно из свойств материала вспомогательного слоя, которое изменяется в соответствии с рисунком, влияет на динамику развития трещины во время разламывания твердотельного материала; или указанное по меньшей мере одно из свойств материала вспом