Устройство для установки и натяжения диска с внутренней режущей кромкой - SU426841A1

Код документа: SU426841A1

Чертежи

Описание

Изобретение относится к обработке полупроводниковых , а также других твердых и хрупких материалов.

Известно устройство для установки и натяжения диска с внутренней режущей кромкой , содержащее два кольца, одно из которых имеет кольцеобразную каиав«у, расположенное между ними натяжное кольцо и болты разной длины.

Качество получаемых пластин, выход годных пластин и отходы в значительной степенн зависят от центровки диска при установке и натяжке. На точность установки диска влняют канавка и выступ на зажимных кольцах, так как в первоначальный момент, когда диск еще не зажат, он свободно смещается в ту сторону, где его стремится деформировать выступ на одном из колец, т. е. перегиб в этом месте создается за счет втягивания полотна диска в канавку, а так как диск при этом еще не зажат (он зажимается завинчиванием ряда болтов, расположенных по окружности колец), то втягивание полотна диска в канавку прн завинчивании первого болта приводит к смещению всего полотна диска, а с ним н кромки в сторону этого болта. Предварительная центровка диска таким образом нарушается.

При последующей иатяж-ке зажатого диска путем прижима диска к кольцеобраз ю му

выступу на патроне за счет перемещения колец с помощью болтов, расположенных по периферии патрона, или резьбы на кольцах, иервоначальные погрешности установки сохраняются или изменяются очень мало, причем контроль положения режущей кромки затруднителен. Перечисленные недостатки приводят к нарушению геометрии иолучаемых пластин, а следовательно, к браку но коробоватости и непараллельности сторон. Годные пластины требуют тщательной последующей обработки для исправления допустимых погрешностей формы, причем припуск увеличивается . Кроме того, стойкость инструмента уменьшается, т. к. резание производится только частью кромки.

Требования, предъявляемые к пластинам по шероховатости поверхностей среза, вызывают при этом необ.ходимость уменьшить скорость поперечной подачи заготовки, т. е. уменьшается производительность.

Целью изобретения является новыщение выхода годных пластин, улучшение их качества , повышение производительности труда при одновременном сниженнн отходов и повышение стойкости инструмента на онерации резки твердых н хрупких материалов, применяемых в полупроводниковом производстве.

Достигается это тем, что на втором кольце выполнена канавка, образующая полость с

канавкой первого кольца, а натяжное кольцо установлено в полости с возможностью перемещекия вдоль ее образующей с помощью болтов меньшей длины.

На фиг. 1 показан станок с описываемым устройством, общий вид; на фиг. 2 - то же, вид сбоку; на фиг. 3 - то же, вид спереди; на фиг. 4 - зажимные кольца с зажатым в них диском в разрезе; на фиг. 5 - то же, диск натянут и отцентрирован третьим, натяжным кольцом, вид сбоку в разрезе; на фиг. 6 - то же, вид спереди.

Устройство смонтировано на стайке, состоящем из шпинделя / механизмов продольной 2 и поперечной 3 подач, расположенных на станине. На валу шпинделя / укреплен патрон 4 для установки диска. В зону резания по трубопроводам 5 и 6 подается смазочно-охлаждающая жидкость. Столу 7 с установленной на нем заготовкой (слитком) с помощью механизмов продольной 2 и поперечной 3 .подач сообщаются необходимые движения. Патрон, укрепляемый на валу щпинделя J, состоит из собственно патрона 4, колец 8-10 и болтов //-J3, расположенных равномерно по окружности. Диск / зажимается между кольцами 8 и 9.

Резка слитков на станке осуществляется носле установки на патроне 4 отцентрированного и натянутого диска 14. Для крепления, центровки и натяжения диска зажимное кольцо 9 устанавливается в приспособление предварительной центровки внутренней режущей кромки 15 относительно посадочной поверхности 16. Затем на кольцо 9 кладут диск 14 и центруют его. Сверху устанавливают натяжное кольцо 10 и второе зал имное кольцо 8 так, что кольцо 10 входит в канавку кольца 8. Болтами 13 сл имают кольца 8 vi 9, чтобы диск 14 надежно фиксировался в первоначально отцентрированном положении. Затем, завинчивая болты 1J, перемещают натяжное кольцо 10 из канавки кольца 8 в канавку кольца 9 сначала на глубину примерно 0,3-0,5 Л1М. В кольцах 8, 9 и 10 и ъ диске имеются соответствующие отверстия для прохода болтов 13, а болты // завинчиваются в резьбовые отверстия кольца 9 и упираются в кольцо 10 в тех местах, где отверстий нет, в связи с чем кольцо 10 перемещается. В первоначальный момент перемещение кольца 10 создает в деформируемом полотне диска 14 небольшие усилия, и полотно прогибается в диапазоне упругих деформаций материала, образуя перегиб, необходимый для надежного удержания диска 14. Болты /,/ расположены равномерно по окружности и их количество зависит от диаметра диска. Так как диск 14 предварительно зажат между кольцами 8 и 9, а перегиб на каждом участке окружности колец образуется от воздействия одного, завинчиваемого в данный момент болта 11, то все ПОЛОТНО диска 14 не смещается, т. е. положение режущей кромки /5 по отношению к поверхности 16 не изменяется. Таким образом создается перегиб, необходимый для удержания диска 14 между кольцами 8 н 9 при натял ении и резке.

Дальнейшее завинчивание болтов // и связанное с этим перемещение кольца 10 увеличивает усилия между диском 14 и кольцом 8. Эти усилия в определенный момент достигают такой величины, что кольцо 8 прогибается и несколько освобождает полотно

диска 14 в зоне прогиба, расположенной в непосредственной близости от завинчивания болта //.

При этом полотно диска втягивается в канавку и прост-ранство между кольцами 8 и 9,

распирающие усилия, действующие на кольцо 8, резко уменьшаются, и прогиб исчезает. Втягивание же полотна диска 14 в канавку приводит к распространению упругой дефортиации , т. е. к натяжению полотна диска 14.

Это натяжение носит местный характер, т. е. происходит только в секторе, расположенном в непосредственной близости от завинчиваемого болта //, а все нолотно диска 14 не смещается. По мере завинчивания всех болтов 111 режущая кромка 15 растягивается в пределах упругой деформации полотна диска ,14 гак, что центральное отверстие в диске несколько увеличивается.

В связи с тем, что натяжение диска 14 и,

следовательно, растяжение кромки 15 происходит по секторам от воздействия каждого из болтов // в зависимости от создавае1мого этим болтом усилия, то положепие каждого участка кромки по отношению к базовой посадочной поверхности 16 кольца 9 регзлировать, а так как все операции по натяжению производятся вне стайка, полол ение каждого участка кромки 15 контролировать с помощью

точных измерений, например отсчетного микроскопа . Таким образом, центрировать режзщую кромку 15 с достаточной точностью .

Закрепленный, натянутый и отцентрированный диск 14 крепится к патрону 4 болтами J2, пропускаемыми через отверстия в кольцах 8, 10, 9 и диске 14, базируясь по посадочной поверхности 16 и свободном} торцу кольца 9 на соответствующие поверхности

патрона 4.

|После установки диска на стол 7 станка подается слиток, закрепленный в оправке. Включаются привод шпинделя, механизмы продольной 2 и поперечиой 3 подач и производится резка слитка на пластины, при этом толщина пластин устанавливается настройкой механизма 2 пр01дольной подачи, а скорость поперечной подачи - настройкой механизма 3 поперечной подачи.

Предмет изобретения

Устройство для установки и натял ения диска с внутренней режущей кромкой, содерл а5 щее два кольца, одно из которых имеет кольцеобразиую канавку, расноложенное между ними натяжное кольцо и болты разной длины, отличающееся тем, что, с целью повышения стойкости диска и производительности, на5 6 втором кольце выполнена канавка, образующая полость с канавкой первого кольца, а натяжкое кольцо установлено в полости с возможиостью перемещения вдоль ее образующей с помощью болтов меньшей длины.