Код документа: SU1705095A1
Физ.2
Изобретение относится к механической обработке твердых и хрупких материалов, преимущественно полупроводниковых , а именно к технологии ре- за их на пластины алмазными отрезными кругами с внутренней или внешней режущей кромкой, и позволяет повысить качество. Для этого с помощью холодильного индикатора h намораживают на поверхности той части заготовки , с которой начинается резка, слой льда 5 из воды или СОЖ и начинают резку кругом 7. 1 з.п. ф-лы, «ил. -.- -