Способ и устройство для промеров, ориентирования и фиксации минимум одного монокристалла - RU2005125399A

Реферат

1. Способ промеров, ориентирования и фиксации, по меньшей мере, одного монокристалла, в котором монокристалл позиционируют для определения ориентации кристаллической решетки с возможностью юстировки на вращающемся столе, и углы нормалей плоскостей кристаллической решетки к оси вращающегося стола устанавливают, во время минимум одного оборота вращающегося стола, при помощи рентгеноскопии, и в котором посредством установленных углов происходит ориентирование монокристалла относительно оси вращающегося стола, служащей как направление подачи, прежде чем производится фиксация монокристалла и крепление на ориентированном в направлении подачи носителе.

2. Способ по п.1, в котором монокристалл с возможностью передвижения вокруг двух поворотных осей позиционируют на вращающемся столе таким образом, что точка пересечения поворотных осей служит точкой отражения для рентгеновского луча, которым, при вращении позиционированного на вращающемся столе монокристалла, производятся рефлексы от нескольких плоскостей кристаллической решетки монокристалла для определения углов.

3. Способ по п.2, в котором при одном измерении производятся рентгеновские рефлексы от нескольких плоскостей кристаллической решетки монокристалла.

4. Способ по п.2 или 3, в котором проверяется зафиксированная ориентация и, при имеющихся отклонениях от заданной ориентации, производится обновленное ориентирование и фиксация.

5. Способ по п.1, в котором несколько монокристаллов позиционируют отдельно один над другим для формирования стопки, промеряют, определенным образом ориентируют и фиксируют, а затем сложенные в стопки монокристаллы одновременно жестко связывают с ориентированным по направлению подачи носителем.

6. Способ по п.5, в котором расположенные друг над другом в стопку монокристаллы связывают друг с другом клеящим веществом.

7. Способ по п.6, в котором для связи монокристаллов слой клеящего вещества наносят на уже ориентированно зафиксированный монокристалл и предусмотренный для образования стопки следующий монокристалл, перед его промерами, ориентированием и фиксацией, располагают на слое клеящего вещества.

8. Способ по п.7, в котором время затвердевания клеящего вещества превышает время промера, ориентирования и фиксации следующего монокристалла.

9. Способ по п.5, в котором на каждом монокристалле перед позиционированием, кристаллографически ориентированно помещают вспомогательный держатель (20), который служит для соединения с общим носителем 18.

10. Способ по п.9, в котором связанные с общим носителем монокристаллы проверяют на реально достигнутое ориентирование кристаллической решетки на грани кристалла, приблизительно перпендикулярной к первоначально служившей как измерительная плоскость грани кристалла, с помощью соответствующих рентгеновских рефлексов.

11. Способ по п.10, в котором стопку монокристаллов, для контроля ориентации желаемого направления реза к кристаллической решетке, позиционируют подвижно в направлении стопки, перпендикулярном к оси вращающегося стола, так что точка отражения может ложиться каждый раз на один из измеряемых монокристаллов.

12. Устройство для промеров, ориентирования и фиксации, по меньшей мере, одного монокристалла, содержащее вращающийся стол (2) с приемным устройством для минимум одного крепления (3) кристалла, которое имеет узел юстировки и фиксации для ориентирования кристаллической решетки монокристалла (1) к оси (X-X) вращающегося стола (2), как направлению подачи, и для ориентированной фиксации монокристалла (1), передвижную по высоте относительно вращающегося стола (2) установку источника (14) рентгеновского излучения и детектора (15), с помощью которой при минимум одном обороте вращающегося стола (2) происходит определение углов нормалей плоскостей кристаллической решетки монокристалла (1) относительно оси (X-X) вращающегося стола (2), причем установленные углы служат для расчета установочных значений для узла юстировки и фиксации для ориентирования кристаллической решетки монокристалла (1), и работающее в перпендикулярном к оси вращающегося стола (2) направлении первое установочное средство (23) для носителя (18), который служит для приема, по меньшей мере, одного ориентированно зафиксированного монокристалла (1).

13. Устройство по п.12, в котором крепление (3) кристалла состоит из внешней рамки (4) с укрепленным с карданным подвесом внутренним каркасом (5, 51) для монокристалла (1) и вторыми установочными средствами для юстировки и фиксации зажатого во внутреннем каркасе (5, 51) монокристалла (1).

14. Устройство по п.13, в котором для первого установочного средства (23) во внешней рамке (4) предусмотрены горизонтальные направляющие (21).

15. Устройство по любому из пп.12-14, в котором для приема носителя (18) с, по меньшей мере, одним ориентированно зафиксированным монокристаллом (1) на вращающемся столе (2) предусмотрена линейная направляющая (25), проходящая в перпендикулярном к оси (X-X) вращающегося стола (2) направлении.