Дозатор пара - SU1247660A1

Описание

Изобретение бтноеится к дозироанию паров воды и может быть ис ользовано в технологии полупроводиковых элементов.

Целью изобретения является полуение пара высокой чистоты, заданого парционального давления и зко- омия электроэнергии , H .чертеже |;зобр4жен дозатор ара. .. I

; Устройство (Содержит систему Г егулирования лодачи газа, кварцевую трубу 2 и увлажнитель 3, который 18ыполнбн -в виде газовой горелки из кварцевого стекла, в котором водородная трубка 4 размещена внутри кислородной 5, а газовая горелка установлена на торце 6 кварцевой трубы 2.

Дозатор пара работает следуюпщм образом. ..

Перед началом проведения процесса дозирования контролируется температура в рабочей зоне и температура в области выходного отверстия газовой горелки. Затем открывают краны рабочего и инертного газа горелки для продувки системы в течение 10-20 мин, открывают водородный кран и по ротаметру устанавливают расход.

На выходе газовой горелки водород самовозгорается и в кварцевую трубу 2 поступает водяной пар. Скорость гаэа, выходящего через выходное отверстие газовой горелки 5 должна удовлетворять следукщему не- .равенству: W S где W - объем вытекающего газа,

S - сечение выходного отверстия

газовой горелки, V.- скорость отрыва факела. Из экспериментальных данных скорость отрыва факела должна быть 9м/с и регулироваться объемом выходящего газа или выходным сечением газовой горелки.

При меньших скоростях потока водородное пламя приводит к деформации газовой горелки в связи с размягчением кварца.

Время окисления в парах воды 15 мнн или более. Затем перекрывается водородный кран и окисление продолжается в сухом кислороде. ВНИИГШ .Заказ 4111/38

V

Произв.-полигр. пр-тие, г. .Ужгород, ул. Проектная, 4

5

0

5

Кварцевая кассета с полупроводни; ковыми пластинами находятся в рабочей зоне с заданной температурой.

Процесс окисления полупроводниковый пластин,.находящихся на кассете , в кварцевой трубе 2 проводится при температуре в рабочей зоне в пpeдeлak от 800 до Т250°С.

Система подачи газов позволяет вводить добавки других газов, например НС1,для стабилизации окислов.

Пример. Газовая горелка и кварцевая труба изготавливаются из труб плавленного кварца (фиг.1) путем получения спая кварцевого стек- лja - кварцевое стекло с применением прОпановой горелки.

Диаметр трубы 100 мм и длина 2000 мм, диаметр трубки подачи водорода и азота 7-10 мм и длина 300 мм с выходным отверстием диаметром 2 мм, диаметр трубки для подачи кислорода 8-25 мм и длина 100 мм, выходное отверстие диаметром 3 мм, а входное отверстие выполнено из трубки аналогичной трубке для подачи водорода. .

Водород, кислород и инертные газы подаются через систему ротамет-т ров и кранов к входам газовой горелки .:

Входы газовой горелки соединяются фторопластовыми трубками через пе- реходные устройства герметичным уплотнением с системой регулирования ;подачи газа. .

За счет снижения трудоемкости обслуживания и сокращения подгото- вительных операций эконбмия времениi составит 25 мин на каждом процессе окисления.

Формула изобретения

0

5

0

5 Дозатор пара,содержащий систему регулирования подачи газа, кварцевую трубу и увлажнитель, о т л и- ч а ю щ и и с я тем, что, с целью получения паров высокой чистопл, заданного парциального давления и экономии электроэнергии, увлажнитель выполнен в виде газовой горелки из кварцевого стекла, в который водородная трубка размещена внутри кисло- родной, а газовая горелка установлена на торце кварцевой трубы. ираж 705 . / Подписное

50

55

Реферат

Изобретение может быть использовано в технологии полупроводниковых элементов и позволяет получить пар высокой чистоты и заданное naipциальное давление, а также экономию электроэнергии. Устройство содержит систему 1 регулирования подачи газа и кварцевую трубу 2, на торце 6 которой установлен увлажнитель 3, выполненный в виде газовой горелки из кварцевого стекла. К входам газовой горелки по кислородной трубке 5 и размещенной в ней водородной трубке 4 подаются водород, кислород и инертные газы через систему 1 регулирования , в атмосфере которых происходит окисление полупроводниковых пластин в кварцевой трубе 2. Для стабилизации окислов можно вводить добавки других газов. (1 ил). $ (Л Ъд u Од

Формула