Способ формирования тонкопленочного покрытия на бритвенном лезвии - RU2009146894A

Реферат

1. Способ формирования бритвенного лезвия, содержащий этапы, на которых: ! а) обеспечивают основу; ! б) формируют клиновидную заостренную кромку на упомянутой основе с внутренним углом менее чем 30° и радиусом закругления менее 1000 Å; ! в) помещают упомянутую основу в вакуумную камеру; ! г) вводят первую твердую мишень в упомянутую вакуумную камеру; ! д) вводят газ в вакуумную камеру для ионизации, и ! е) генерируют поток ионов из упомянутой первой твердой мишени путем приложения отрицательного напряжения к упомянутой первой твердой мишени в виде импульсов, в результате чего упомянутые ионы образуют тонкопленочное покрытие на клиновидной заостренной кромке основы. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что упомянутой первой твердой мишенью является металл, уголь или бор. ! 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что упомянутый металл выбирают из группы, состоящей из Al, Nb, Zr, Cr, V, Ta, Ti, W, Ni, Hf, Si, Mo, и сплава, содержащего элементы данной группы в любой комбинации. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что дополнительно содержит этап, на котором: ! ж) генерируют поток дополнительных ионов из упомянутой первой твердой мишени путем приложения второго низкого отрицательного напряжения к упомянутой первой твердой мишени в виде импульсов, в результате чего упомянутые ионы образуют тонкопленочное покрытие на клиновидной заостренной кромке основы. ! 5. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержит дополнительный этап, на котором: ! ж) вращают упомянутую заготовку вокруг оси во время этапа е). ! 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что дополнительно содержит этапы, на которых: ! ж) вводят вторую твердую мишень в упомянутую вакуумную камеру, ! з) генерир�