Способ и система для детектирования неисправности мэмс-микронасоса - RU2014100352A

Реферат

1. Способ детектирования неисправности, в том числе возможной недостаточной или избыточной подачи микронасоса, содержащего по меньшей мере впускной клапан, нагнетательную камеру с внутренним датчиком давления и выпускной клапан, причем указанный способ содержит определение герметичности насоса путем измерения давления указанным внутренним датчиком давления в указанной нагнетательной камере по меньшей мере через определенные интервалы, когда насос неактивен, и сравнение с контрольным значением.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что указанное контрольное значение получают путем измерения датчиком давления в указанной нагнетательной камере в течение по меньшей мере части нагнетательного цикла, когда насос активен.3. Способ по п.2, дополнительно содержащий определение эквивалентного гидравлического сопротивления согласно следующему уравнению:1/R=1/R+1/R,где R- эквивалентное гидравлическое сопротивление,R- остаточное гидравлическое сопротивление указанного впускного клапана в закрытом состоянии,R- остаточное гидравлическое сопротивление указанного выпускного клапана в закрытом состоянии,причем указанное эквивалентное гидравлическое сопротивление определяют путем измерения in-situ указанным внутренним датчиком давления изменения давления в указанной нагнетательной камере, когда насос активен.4. Способ по п. 3, дополнительно содержащий измерение давления на впуске и выпуске насоса, когда насос активен, при этом указанную возможную недостаточную или избыточную подачу затем характеризуют максимальной скоростью утечки Q, определяемой согласно следующему соотношению:Q=ΔP/4R,где ΔР - разность между указанными д