Сборка валика, имеющего топографически измененнуюповерхность - RU2004106550A

Реферат

1. Пластинчатый узел для удержания полировального элемента в полировальном устройстве, имеющий пластину, которая содержит: преимущественно плоскую поверхность, имеющую ведущий край и тянущий край, причем эти края расположены с противоположных сторон плоской поверхности; множество каналов для текучей среды между тянущим и ведущим краями, каждый из которых имеет соответствующее отверстие, определенное плоской поверхностью; и по меньшей мере, один участок измененной топографии на пластине, при этом, по меньшей мере, один участок измененной топографии содержит один участок поднятой относительно плоской поверхности топографии и один участок опущенной относительно плоской поверхности топографии.

2. Устройство по п.1, в котором полировальный элемент и полировальное устройство содержат линейный полировальный элемент и линейное полировальное устройство соответственно и в котором, по меньшей мере, один участок измененной топографии содержит участок поднятой топографии, размещенный ближе к тянущему краю, нежели к ведущему краю.

3. Устройство по п.1, в котором полировальный элемент и полировальное устройство содержат вращающийся полировальный элемент и вращающееся полировальное устройство соответственно, и в котором, по меньшей мере, один участок измененной топографии содержит участок поднятой топографии, расположенный ближе к тянущему краю, нежели к ведущему краю.

4. Устройство по п.2 или 3, в котором, по меньшей мере, один участок измененной топографии включает участок пониженной топографии, размещенный ближе к ведущему краю, нежели к тянущему краю.

5. Устройство по п.1, в котором множество каналов для текучей среды выполнено на концентрических окружностях преимущественно плоской поверхности.

6. Устройство по п.5, в котором, по меньшей мере, один участок измененной топографии размещен между двумя смежными концентрическими окружностями каналов для текучей среды.

7. Устройство по п.1, в котором, по меньшей мере, один участок измененной топографии содержит непрерывную дугу материала.

8. Устройство по п.1, в котором, по меньшей мере, один участок измененной топографии содержит унитарную часть преимущественно плоской поверхности.

9. Устройство по п.1, в котором плоская поверхность пластины включает первый материал, и, по меньшей мере, один участок измененной топографии содержит участок поднятой топографии из второго материала, отличного от первого.

10. Устройство по п.9, в котором второй материал съемно связан с первым.

11. Устройство по п.9, в котором второй материал соединен с первым посредством клея.

12. Устройство по п.1, в котором участок измененной топографии содержит участок поднятой топографии, имеющий высоту в диапазоне от 0.000 до 0.250 дюймов.

13. Устройство по п.1, в котором участок измененной топографии имеет высоту в диапазоне от 0.030 до 0.040 дюймов.

14. Устройство по п.7, в котором непрерывная дуга представляет собой дугу длиной меньше, чем 180°.

15. Линейное полировальное устройство, имеющее узел удержания линейного ремня, в котором плата, имеющая диаметр, прижата к стороне линейного ремня, и пластину содержащую: преимущественно плоскую поверхность, размещенную под линейным ремнем, напротив платы, преимущественно плоскую поверхность, размещенную в узле удержания линейного ремня и имеющую диаметр, больший, чем диаметр платы, пластина далее содержит ведущий край и тянущий край, размещенные с противоположных сторон плоской поверхности; множество каналов текучей среды, расположенных между ведущим и тянущим краями пластины, при этом каждый из каналов содержит соответствующее отверстие, определенное преимущественно плоской поверхностью; и по меньшей мере, один участок поднятой топографии, размещенный ближе к тянущему краю, нежели к ведущему краю.

16. Устройство по п.15, в котором множество каналов для текучей среды организованы во множество концентрических окружностей на преимущественно плоской поверхности.

17. Устройство по п.15, в котором, по меньшей мере, один участок поднятой топографии размещен на пластине в зоне вне диаметра платы.

18. Устройство по п.15, в котором, по меньшей мере, один участок поднятой топографии содержит непрерывную дугу материала.

19. Устройство по п.15, в котором, по меньшей мере, один участок поднятой топографии содержит унитарную часть преимущественно плоской поверхности пластины.

20. Устройство по п.15, в котором преимущественно плоская поверхность пластины содержит первый материал и, по меньшей мере, один участок поднятой топографии, содержащий второй материал, отличный от первого.

21. Устройство по п.15, в котором, по меньшей мере, один участок поднятой топографии подвижно размещен на пластине.

22. Устройство по п.15, в котором, по меньшей мере, один участок поднятой топографии имеет высоту, изменяющуюся по его длине.

23. Устройство по п.15, в котором, по меньшей мере, один участок поднятой топографии содержит первую область поднятой топографии, размещенную на первом радиальном расстоянии от центра пластины, и вторую область поднятой топографии, размещенную на втором радиальном расстоянии от центра пластины, при этом первое и второе радиальные расстояния отличны друг от друга.

24. Пластинчатый узел для удержания полировального элемента в полировальном устройстве, имеющий пластину содержащую: преимущественно плоскую поверхность, размещенную под полировальным элементом напротив платы, преимущественно плоскую поверхность, размещенную в узле поддержки и имеющую диаметр, больший, чем диаметр платы, пластина далее содержит ведущий и тянущий края, размещенные с противоположных сторон плоской поверхности; множество каналов для текучей среды, расположенных между ведущим и тянущим краями пластины, при этом каждый из каналов содержит соответствующее отверстие, определенное преимущественно плоской поверхностью; и сегментированное плоское кольцо, размещенное вокруг части плоской поверхности, где каждый сегмент может быть размещен, чтобы быть поднятым или опущенным участком топографии.

25. Устройство по п.24, в котором множество каналов для текучей среды организованы во множество концентрических окружностей на преимущественно плоской поверхности.

26. Устройство по п.24, в котором сегмент - поднятый участок топографии, имеющий высоту не более, чем 0.250 дюймов.

27. Устройство по п.24, в котором сегмент - опущенный участок топографии, имеющий высоту не более, чем 0.250 дюймов.

28. Устройство по п.24, в котором пластинчатое кольцо состоит из четырех сегментов.

29. Устройство по п.24 далее содержит механические посты, а высота отдельных сегментов может быть отрегулирована с помощью механических постов.

30. Устройство по п.24 далее содержит регулятор, который запрограммирован так, что он может посылать сигнал для регулирования высоты отдельных сегментов.

31. Устройство по п.30, в котором регулятор посылает сигнал электродвигателю.

32. Устройство по п.30, в котором регулятор посылает сигнал пневматическому устройству регулирования высоты, чтобы регулировать высоту отдельных сегментов.

33. Устройство по п.30, в котором регулятор посылает сигнал гидравлическому устройству регулирования высоты, чтобы регулировать высоту отдельных сегментов.

34. Устройство по п.30 далее содержит метрологическую головку для измерения толщины поверхностного слоя отполированной платы, это измерение посылают регулятору так, что он может послать сигнал для регулирования высоты отдельных сегментов.

35. Устройство по п.30, в котором измерение толщины поверхностного слоя отполированной платы, полученное от фабричного уровня, передано в систему управления производственным процессом, и в котором измерение толщины поверхностного слоя посылают регулятору так, что он может послать сигнал на регулирование высоты отдельных сегментов.

36. Полировальное устройство, имеющее узел поддержки полировального элемента, в котором плата, имеющая диаметр, прижата к одной стороне полировального элемента, и имеющее пластину содержащую:

преимущественно плоскую поверхность, размещенную под полировальным элементом напротив платы, преимущественно плоскую поверхность, размещенную в узле поддержки и имеющую диаметр, больший диаметра платы, пластина далее содержит ведущий край и тянущий край, расположенные на противоположных сторонах преимущественно плоской поверхности;

множество каналов для текучей среды, расположенных между ведущим и тянущим краями пластины, каждый из каналов содержит соответствующее отверстие, определенное преимущественно плоской поверхностью; и средства для обеспечения, по меньшей мере, одного участка измененной топографии на части преимущественно плоской поверхности пластины.