Растворы для полировки и способы их применения - RU2017103686A
Код документа: RU2017103686A
Формула
1. Раствор для полировки, содержащий
жидкий компонент, содержащий:
воду;
основное средство для регулирования pH; и
полимерный загуститель, причем полимерный загуститель присутствует в жидком компоненте в количестве более 0,01 вес.%, исходя из общего веса раствора для полировки; и
множество частиц, обеспечивающих правку, диспергированных в жидком компоненте.
2. Раствор для полировки по п. 1, в котором pH раствора для полировки составляет от 8 до 12.
3. Раствор для полировки по п. 1, в котором основное средство для регулирования pH присутствует в жидком компоненте в количестве от 0,1 вес.% до 10 вес.%, исходя из общего веса раствора для полировки.
4. Раствор для полировки по п. 1, в котором основное средство для регулирования pH содержит соль борной кислоты или гидроксид металла.
5. Раствор для полировки по п. 1, в котором основное средство для регулирования pH содержит борат натрия или его производное.
6. Раствор для полировки по п. 1, в котором полимерный загуститель присутствует в жидком компоненте в количестве от 0,01 вес.% до 25 вес.%, исходя из общего веса раствора для полировки.
7. Раствор для полировки по п. 1, в котором полимерный загуститель содержит водорастворимый полимерный загуститель.
8. Раствор для полировки по п. 1, в котором полимерный загуститель содержит полиэтиленоксид.
9. Раствор для полировки по п. 1, в котором частицы, обеспечивающие правку, содержат частицы, характеризующиеся величиной твердости по Моосу, большей, чем 7.
10. Раствор для полировки по п. 1, в котором частицы, обеспечивающие правку, присутствуют в жидком компоненте в количестве от 0,5 вес.% до 5 весовых процентов, исходя из общего веса раствора для полировки.
11. Раствор для полировки по п. 1, в котором частицы, обеспечивающие правку, содержат оксид алюминия.
12. Способ полирования подложки, причем способ включает
обеспечение полировальника;
обеспечение подложки, имеющей основную поверхность, подлежащую полированию; и
приведение указанной поверхности в контакт с полировальником и раствором для полировки по п. 1, при этом между полировальником и подложкой обеспечивают относительное движение.
13. Способ полирования подложки по п. 12, характеризующийся тем, что подложка содержит сапфир.
14. Способ полирования подложки по п. 12, характеризующийся тем, что стадия обеспечения подложки, имеющей основную поверхность, подлежащую полированию, дополнительно включает обеспечение поверхности А-плоскости сапфира, подлежащей полированию.
15. Способ полирования подложки по п. 12, характеризующийся тем, что полировальник представляет собой полировальник с фиксированным абразивом.
16. Способ полирования подложки по п. 12, характеризующийся тем, что полировальник содержит рабочую поверхность, содержащую множество абразивных композитов, имеющих точную форму, причем абразивный композит, имеющий точную форму, содержит фазу смолы и фазу абразива.
17. Система для полировки, содержащая полировальник и раствор для полировки по п. 1.
