Абразивные частицы для механической полировки - RU2006104117A

Реферат

1. Абразивная композиция для полировки подложек, содержащая множество абразивных частиц, содержащих распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 20 нм, где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 20 об.% абразивных частиц.

2. Абразивная композиция по п.1, где указанные абразивные частицы имеют распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 15 нм, где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 15 об.% абразивных частиц.

3. Абразивная композиция по п.1, где указанные абразивные частицы имеют распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 15 нм, где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 10 об.% абразивных частиц.

4. Абразивная композиция по п.1, где указанные абразивные частицы имеют распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 15 нм, где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 15 об.% абразивных частиц.

5. Абразивная композиция по п.1, где указанные абразивные частицы имеют распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 18 нм, где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 20 об.% абразивных частиц.

6. Абразивная композиция по п.1, где указанные абразивные частицы имеют распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 20 нм, где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 20 об.% абразивных частиц.

7. Абразивная композиция по п.1, где указанные абразивные частицы имеют распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 15 нм, где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 20 об.% абразивных частиц.

8. Абразивная композиция по п.1, в которой указанные абразивные частицы содержат двуокись кремния.

9. Абразивная композиция по п.1, в которой указанные абразивные частицы содержат коллоидную двуокись кремния.

10. Абразивная композиция по п.1, в которой указанные абразивные частицы содержат катионы оксида алюминия, алюминия, аммония или калия, связанные с ними.

11. Абразивная суспензионная композиция для полировки подложек, содержащая множество абразивных частиц, имеющих распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, и значение разброса по объему является равным или большим, чем 20 нм, где фракция указанных частиц, больших чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 20 об.% абразивных частиц, и раствор, имеющий один или несколько химических реагентов.

12. Абразивная суспензия по п.11, в которой указанные абразивные частицы имеют распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 15 нм, где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 10 об.% абразивных частиц.

13. Абразивная суспензия по п.11, в которой указанные абразивные частицы имеют распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 18 нм, где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 20 об.% абразивных частиц.

14. Абразивная суспензия по п.11, в которой указанные абразивные частицы имеют распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 15 нм, где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 20 об.% абразивных частиц.

15. Абразивная суспензия по п.11, в которой указанные абразивные частицы содержат двуокись кремния.

16. Абразивная суспензия по п.11, в которой указанные абразивные частицы содержат катионы оксида алюминия, алюминия, аммония или калия, связанные с ними.

17. Способ полировки подложек абразивной композицией, включающий обеспечение подложки, которую необходимо полировать, и полировку подложки с использованием множества абразивных частиц, имеющих распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 20 нм, и где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 20 об.% абразивных частиц.

18. Способ по п.17, в котором указанные абразивные частицы имеют распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 15 нм, где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 10 об.% абразивных частиц.

19. Способ по п.17, в котором указанные абразивные частицы имеют распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 18 нм, где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 20 об.% абразивных частиц.

20. Способ по п.17, в котором указанные абразивные частицы имеют распределение размеров полидисперсных частиц, при этом медианный размер частиц по объему составляет от примерно 20 до примерно 100 нм, значение разброса по объему является равным или большим, чем примерно 15 нм, где фракция указанных частиц, больших, чем примерно 100 нм, составляет менее чем или равна примерно 20 об.% абразивных частиц.

21. Способ по п.17, в котором указанные абразивные частицы содержат двуокись кремния.

22. Способ по п.17, в котором указанные абразивные частицы содержат катионы оксида алюминия, алюминия, аммония или калия, связанные с ними.