Полирующий состав - RU2014122552A

Реферат

1. Полирующий состав, содержащий по меньшей мере воду и диоксида кремния, отличающийся тем, что состав удовлетворяет всем следующим требованиям:(a) удельная площадь поверхности диоксида кремния, содержащегося в полирующем составе, составляет 30 м/г или более;(b) полирующий состав содержит 2% по массе или более диоксида кремния, имеющего размер частиц от 10 до 50 нм;(c) полирующий состав содержит 2% по массе или более диоксида кремния, имеющего размер частиц от 60 до 300 нм; и(d) значение, полученное при делении среднего размера частиц диоксида кремния, описанного в условии (c), на средний размер частиц диоксида кремния, описанного в условии (b), составляет 2 или более.2. Полирующий состав по п. 1, отличающийся тем, что как массовая доля диоксида кремния, описанного в условии (b), так и массовая доля диоксида кремния, описанного в условии (c), составляют 4% по массе или более.3. Полирующий состав по п. 1, отличающийся тем, что процентное содержание диоксида кремния, описанного в условии (c), по отношению к суммарному количеству диоксида кремния, содержащегося в полирующем составе, составляет 50% по массе или более.4. Полирующий состав по п. 1, отличающийся тем, что полирующий состав имеет значение pH от 7,5 до 9,5.5. Полирующий состав по п. 1, отличающийся тем, что как массовая доля диоксида кремния, описанного в условии (b), так и массовая доля диоксида кремния, описанного в условии (c), составляют 7% по массе или более.6. Способ полировки подложки из твердого и хрупкого материала, включающий полировку подложки из твердого и хрупкого материала с использованием полирующего состава по любому из пп. 1-5.7. Способ изготовления подложки из твердого и хрупкого матери�