Устройство и способ для прецизионной обработки - RU2005141119A

Реферат

1. Устройство для прецизионной обработки, содержащее вращательное устройство для вращения предмета, подлежащего шлифованию; первую опору, несущую вращательное устройство; вращательное устройство для вращения шлифовального круга; вторую опору, несущую вращательное устройство для вращения шлифовального круга; и средство для регулирования перемещения, предусмотренное у первой опоры и/или второй опоры, причем средство для регулирования перемещения способно обеспечить перемещение одной из опор по направлению к другой, при этом средство для регулирования перемещения включает в себя первую часть для регулирования перемещения, которая физически перемещает опору, и вторую часть для регулирования перемещения, которая обеспечивает приложение давления к опоре, чтобы заставить опору скользить в направлении перемещения, и при этом величину перемещения опоры и вращательного устройства можно регулировать посредством избирательного использования первой части для регулирования перемещения и второй части для регулирования перемещения.

2. Устройство по п.1, в котором первая часть для регулирования перемещения включает в себя винтовой механизм подачи, в котором гайка, навинченная на винт подачи, перемещается за счет вращения винта подачи, и вторая часть для регулирования перемещения включает в себя пневмопривод или гидропривод.

3. Устройство по п.1, в котором вторая часть для регулирования перемещения включает в себя множество пневмоприводов или гидроприводов, обеспечивающих отличающиеся друг от друга показатели давления, и перемещение опоры и вращательного устройства посредством второй части для регулирования перемещения можно регулировать за счет избирательно изменяемого давления.

4. Устройство по любому из пп.1-3, дополнительно содержащее устройство управления пространственным положением, расположенное между вращательным устройством и первой опорой или между вращательным устройством и второй опорой, при этом устройство управления пространственным положением обеспечивает управление пространственным положением вращательного устройства, причем устройство управления пространственным положением включает в себя первый элемент в виде плоской плиты, простирающийся в плоскости, задаваемой осью Х и осью Y, и второй элемент в виде плоской плиты, расположенный параллельно первому элементу в виде плоской плиты и при этом расположенный на расстоянии от указанного первого элемента; на обращенных друг к другу поверхностях двух элементов в виде плоских плит образованы выемки; сферический элемент установлен между первым элементом в виде плоской плиты и вторым элементом в виде плоской плиты за счет того, что участки сферического элемента размещены в данных выемках; первый привод, выполненный с возможностью расширения в направлении оси Z перпендикулярно плоскости, задаваемой осью Х и осью Y, расположен между первым элементом в виде плоской плиты и вторым элементом в виде плоской плиты; второй привод, выполненный с возможностью расширения в соответствующем направлении в плоскости, задаваемой осью Х и осью Y, присоединен ко второму элементу в виде плоской плиты; второй элемент в виде плоской плиты выполнен с возможностью перемещения относительно первого элемента в виде плоской плиты, при этом он находится в некотором пространственном положении вместе с предметом, установленным на нем; сферический элемент приклеен к первому элементу в виде плоской плиты и/или ко второму элементу в виде плоской плиты с помощью упруго деформируемого клея; и пьезоэлектрический элемент и магнитострикционный элемент со сверхвысокой магнитострикцией предусмотрены в каждом из первого привода и второго приводов.

5. Устройство по любому из пп.1-3, в котором шлифовальный круг представляет собой, по меньшей мере, шлифовальный круг для химико-механического шлифования.

6. Способ прецизионной обработки с использованием устройства для прецизионной обработки, включающего в себя вращательное устройство для вращения предмета, подлежащего шлифованию, первую опору, несущую вращательное устройство, вращательное устройство для вращения шлифовального круга, вторую опору, несущую вращательное устройство для вращения шлифовального круга, и средство для регулирования перемещения, предусмотренное у первой опоры и/или второй опоры, причем средство для регулирования перемещения способно обеспечить перемещение одной из опор по направлению к другой, при этом средство для регулирования перемещения включает в себя первую часть для регулирования перемещения, которая физически перемещает опору, и вторую часть для регулирования перемещения, которая обеспечивает приложение давления к опоре, чтобы заставить опору скользить в направлении перемещения, и при этом величину перемещения опоры и вращательного устройства можно регулировать посредством избирательного использования первой части для регулирования перемещения и второй части для регулирования перемещения, при этом способ прецизионной обработки включает в себя первую операцию образования предмета, отшлифованного до промежуточной стадии, посредством выполнения чернового шлифования предмета, подлежащего шлифованию; и вторую операцию образования окончательно отшлифованного предмета посредством шлифования предмета, отшлифованного до промежуточной стадии, с использованием шлифовального круга для химико-механического шлифования, при этом перемещение вращательного устройства и опоры регулируют посредством первой части для регулирования перемещения на первой операции, и перемещение вращательного устройства и опоры регулируют посредством второй части для регулирования перемещения на второй операции.