Модифицированный процесс микрошлифования - RU2015114097A

Реферат

1. Способ механической обработки пластины, имеющей первую и вторую противоположные основные поверхности, включающий:шлифование первой основной поверхности пластины с использованием первого связанного абразива; ишлифование второй основной поверхности с использованием второго связанного абразива, при этом второй связанный абразив имеет размер зерна более грубый, чем размер зерна первого связанного абразива, причем по меньшей мере часть шлифования первой и второй основных поверхностей пластины происходит одновременно.2. Способ по п. 1, в котором пластина является сапфировой подложкой.3. Способ по п. 1, в котором:первый связанный абразив имеет средний размер частиц абразива не более чем 5 микрон, не более чем 20 микрон, не более чем 35 микрон или не более чем 75 микрон; ивторой связанный абразив имеет средний размер частиц абразива по меньшей мере 60 микрон, по меньшей мере 80 микрон, по меньшей мере 100 микрон или по меньшей мере 200 микрон.4. Способ по любому из предыдущих пунктов, в котором разность между средним размером частиц абразива в верхнем диске со связанным абразивом и средним размером частиц абразива в нижнем диске со связанным абразивом по меньшей мере 20 микрон, по меньшей мере 50 микрон или по меньшей мере 100 микрон.5. Способ по любому из пп. 1-4, в котором шлифование первой основной поверхности пластины и шлифование второй основной поверхности пластины содержит шлифование этой пластины между плитой с первым абразивом и плитой со вторым абразивом, плита со вторым абразивом имеет более грубый абразив, чем плита с первым абразивом, причем плита с первым абразивом шлифует первую основную поверхность пластины, а плита со вторым абразивом шлифует вторую