Способ и система конвергентного полирования - RU2013146696A

Реферат

1. Полировочная система для полирования оптического элемента, причем полировочная система содержитполировочную подушку, имеющую радиальный размер; идиафрагму, расположенную на полировочной подушке и выполненную с возможностью частично окружать оптический элемент, причем оптический элемент соприкасается с полировочной подушкой в пределах диапазона радиального размера, и скорость изнашивания подушки полировочной подушки является по существу постоянной, как функция от радиального размера в пределах диапазона радиального размера.2. Полировочная система по п.1, в которой оптический элемент содержит круглую линзу.3. Полировочная система по п.1, в которой диафрагма содержитструктурный слой;податливый слой; иполирующий слой.4. Полировочная система по п.3, в которой структурный слой характеризуется более высокой плотностью, чем податливый слой или полирующий слой.5. Полировочная система по п.3, в которой оптический элемент содержит оптический материал, и полирующий слой содержит оптический материал.6. Полировочная система по п.5, в которой оптический материал содержит плавленый кварц.7. Полировочная система по п.1, в которой полировочная подушка выполнена с возможностью приема суспензии, содержащей абразивные компоненты, поддерживаемые в растворителе, и добавку.8. Полировочная система по п.7, в которой добавка содержит сурфактант.9. Полировочная система по п.8, в которой сурфактант содержит анионный сурфактант.10. Полировочная система по п.8, в которой сурфактант содержит катионный сурфактант.11. Полировочная система по п.1, дополнительно содержащая камеру, окружающую полировочную подушку, и характеризуемую влажность�