Способ изготовления подложки для головки для выбрасывания жидкости и способ обработки подложки - RU2011101719A

Реферат

1. Способ изготовления подложки головки для выбрасывания жидкости, включающей в себя подложку, которая имеет на одной поверхности элемент для генерирования энергии, который генерирует энергию, используемую для выбрасывания жидкости, и канал подачи жидкости, который проходит через одну поверхность подложки и через другую поверхность подложки, при этом другая поверхность обеспечена на задней стороне указанной одной поверхности, содержащий этапы, на которых: ! обеспечевают углубленный участок на другой поверхности подложки посредством выпускания жидкости в линейной форме к другой поверхности подложки и посредством обработки другой поверхности с использованием лазерного света, который проходит вдоль по и в линейной жидкости; и ! формируют канал подачи жидкости путем травления подложки от другой поверхности, снабженной углубленным участком. ! 2. Способ по п.1, в котором выполняют подложку, снабженную металлическим слоем, имеющим отверстие на его задней поверхности, и заднюю поверхность обрабатывают с применением лазерного излучения через отверстие. ! 3. Способ по п.1, в котором травление является влажным травлением. ! 4. Способ по п.1, в котором лазерный свет является импульсным лазерным светом, и задняя поверхность многократно облучается лазерным светом. ! 5. Способ по п.1, в котором ориентация кристаллографической плоскости одной поверхности является (100). ! 6. Способ по п.2, в котором металлический слой включает в себя золото и лазерный свет является лазерным светом YAG лазера. ! 7. Способ изготовления подложки головки для выбрасывания жидкости, включающей в себя подложку, которая имеет на одной ее поверхности элем