Электрополирующий электролит и способ выравнивания металлического слоя с его использованием - RU2007116697A

Реферат

1. Электрополирующий электролит для использования в производстве полупроводников, содержащий фосфорную кислоту, уксусную кислоту и спиртовую добавку, имеющую, по меньшей мере, одну гидроксигруппу, где краевой угол спиртовой добавки на слое металла при электрополировании меньше, чем краевой угол раствора кислоты.

2. Электрополирующий электролит по п.1, где спиртовая добавка выбирается из группы, состоящей из метанола, этанола и глицерина.

3. Электрополирующий электролит по п.1, где спиртовая добавка представляет собой глицерин.

4. Электрополирующий электролит по п.3, где объемное соотношение глицерина и фосфорной кислоты составляет между 1:50 и 1:200.

5. Электрополирующий электролит по п.3, где объемное соотношение глицерина и фосфорной кислоты составляет 1:100.

6. Электрополирующий электролит по п.2, где объемное соотношение метанола и фосфорной кислоты составляет между 1:100 и 1:150.

7. Электрополирующий электролит по п.2, где объемное соотношение этанола и фосфорной кислоты составляет между 1:100 и 1:150.

8. Электрополирующий электролит по п.1, где концентрация уксусной кислоты составляет между 10000 и 12000 чнм.

9. Способ выравнивания металлического слоя, при этом металлический слой имеет, по меньшей мере, одну впадину и одну выпуклость, характеризующийся использованием электрополирующего электролита по любому из предшествующих пунктов, где электрополирующий электролит образует градиент концентрации между впадиной и выпуклостью так, что скорость полирования выше на выпуклости, чем скорость полирования во впадине.

10. Способ выравнивания металлического слоя по п.9, где металлический слой содержит медь.