Испарительное устройство для сублимированных материалов - RU2004137526A

Реферат

1. Испарительное устройство установки для вакуумного напыления пленок, состоящее по меньшей мере из одной ванны (3) для испаряемого материала (4) и из нагревательного устройства с одним излучающим нагревателем, отличающееся тем, что излучающий нагреватель выполнен в виде нагревательного стержня (5), расположенного над ванной (3).

2. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что на ванне (3) размещена крышка (8), имеющая выходную щель (16) для испаряемого материала, причем нагревательный стержень (5) расположен в пространстве, образуемом крышкой (8) и ванной (3).

3. Испарительное устройство по п.2, отличающееся тем, что длина образованного пространства больше его ширины, а вдоль продольной оси ванны (3) расположены перпендикулярные к ней нагревательные стержни (5).

4. Испарительное устройство по любому из п.1 или 2, отличающееся тем, что каждый из нагревательных стержней (5) с обоих концов установлен в несущих кольцах (6), выполненных из жаропрочной керамики.

5. Испарительное устройство по п.4, отличающееся тем, что несущие кольца (6) наложены на кромку ванны (9) с возможностью введения в соответствующие выемки (17) крышки (8) или ванны (3).

6. Испарительное устройство по п.2, отличающееся тем, что торцы нагревательных стержней (5) по бокам выполнены выступающими из пространства, образованного крышкой и ванной.

7. Испарительное устройство по любому из п.1 или 2, отличающееся тем, что нагревательные стержни (5) выполнены плоскими, предпочтительно прямоугольного сечения и направлены плоской стороной к ванне (3).

8. Испарительное устройство по п.5, отличающееся тем, что несущие кольца (6) имеют окружной паз (12), в который введены края ванны (3) или крышки (8).