Способ контроля плотности энергии лазерного пучка посредством анализа изображения и соответствующее устройство - RU2016114822A
Код документа: RU2016114822A
Формула
1. Способ (S) контроля плотности энергии лазерного пучка (3) на основании по меньшей мере двух параметров лазерного пучка (3), содержащий этапы, на которых:
- лазерным пучком (3) регулярно воздействуют на контрольную подложку (7) и при каждом воздействии измеряют (S4) интенсивность света, получаемую на этой контрольной подложке,
- выявляют (S6,S7,S8) изменение интенсивности света на контрольной подложке (7) по меньшей мере между двумя измерениями, и
- если изменение интенсивности света превышает заданный порог, определяют нестабильный параметр или нестабильные параметры плотности энергии лазерного пучка (3) (S8).
2. Способ (S) контроля по п. 1, в котором плотность энергии лазерного пучка (3) контролируют на основании трех параметров, в частности, мощности, скорости и размера лазерного пучка (3).
3. Способ (S) контроля по п. 1, в котором этап воздействия и регулярного измерения интенсивности света на контрольной подложке (7) включает в себя подэтапы, на которых:
(i) воздействуют лазерным пучком (3) на контрольную подложку и получают изображение лазерного пучка (3) на указанной контрольной подложке (S2) для получения опорного изображения,
(ii) определяют интенсивность света в точке воздействия лазерного пучка (3) в опорном изображении (S3), и
(iii) регулярно воздействуют лазерным пучком (3) на контрольную подложку (7) и получают изображение лазерного пучка (3) на указанной контрольной подложке (7) для получения контрольного изображения (S4) и определяют интенсивность света на контрольной подложке (7) в точке воздействия лазерного пучка (3) в контрольном изображении (S5), а
этап выявления изменения интенсивности света включает в себя подэтапы, на которых:
(iv) сравнивают интенсивность света в полученном таким образом контрольном изображении с интенсивностью света в опорном изображении (S6), и
(v) на основании указанного сравнения делают вывод об изменении плотности энергии лазерного пучка (3) (S7,S8).
4. Способ (S) контроля по п. 3, в котором интенсивность света определяют путем измерения оттенков серого в опорном изображении и в контрольном изображении (S3,S5).
5. Способ (S) контроля по п. 4, в котором оттенки серого в опорном изображении и в контрольном изображении измеряют в нескольких точках, чтобы определить интенсивность света путем усреднения профиля интенсивности света в каждой точке каждого изображения.
6. Способ (S) контроля по п. 3, дополнительно содержащий, перед воздействием лазерным пучком (3) на контрольную поверхность для получения опорного изображения (S2), первоначальный этап (S1), во время которого определяют первоначальное значение параметров и, если изменение интенсивности света превышает заданный порог, указанный способ (S) дополнительно содержит подэтапы, на которых:
- определяют значение параметров лазерного пучка (3) и сравнивают его с первоначальным значением указанных параметров, чтобы выявить нестабильный параметр или нестабильные параметры, и
- модифицируют лазер (2), с тем чтобы восстановить стабильность указанного(ых) нестабильного(ых) параметра(ов) (S9).
7. Способ (S) контроля по п. 6, в котором этапы (i)-(iii) повторяют с модифицированным лазерным пучком (3) для определения нового опорного изображения.
8. Способ (S) контроля по п. 7, в котором повторяют также первоначальный этап (S1).
9. Устройство (1) контроля плотности энергии лазерного пучка (3) на основании по меньшей мере двух параметров лазерного пучка (3), при этом указанными параметрами являются мощность, скорость и/или размер лазерного пучка (3), характеризующееся тем, что выполнено с возможностью контроля плотности энергии лазерного пучка (3) при помощи способа по одному из пп. 1-6, и содержит:
- систему (4) получения изображений, выполненную с возможностью получения изображений лазерного пучка (3) на контрольной подложке (7), и
- систему (5) обработки изображений, выполненную с возможностью сравнения интенсивности света в различных изображениях, снятых системой (5) получения изображений, и выявления изменения интенсивности света на контрольной подложке (7) по меньшей мере между двумя измерениями, и
- средства (6) обработки данных, выполненные с возможностью определения на основании изменения интенсивности света, является ли нестабильным по меньшей мере один из параметров лазерного пучка (3).
10. Устройство контроля (1) по п. 9, в котором контрольная подложка (7) содержит
однородное покрытие.
11. Устройство контроля (1) по п. 9 или 10, в.котором контрольная подложка (7) содержит пластину из алюминиевого сплава.
12. Устройство контроля (1) по п. 11, в котором пластина из алюминиевого сплава является анодированной и содержит анодированный слой.
13. Устройство контроля (1) по п. 12, в котором анодированный слой имеет черный цвет.
14. Устройство контроля (1) по п. 12 или 13, в котором анодированный слой имеет толщину от 0,5% до 3% толщины пластины (7) из алюминиевого сплава, предпочтительно около 1%.
15. Устройство контроля (1) по п. 14, в котором толщина пластины (7) из алюминиевого сплава составляет примерно 1 мм, а толщина анодированного слоя составляет примерно 0,01 мм.
