Способ изготовления составной компенсационной балансирной пружины - RU2015121117A

Реферат

1. Способ изготовления составной компенсационной балансирной пружины (31, 41), содержащий следующие этапы, на которых:a) берут первую пластину (1), выполненную из первого материала;b) берут по меньшей мере вторую пластину (3, 3'), выполненную из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) имеют противоположный знак относительно изменений модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) первого материала;c) соединяют первую пластину (1) с по меньшей мере одной второй пластиной (3, 3') для образования подложки (2, 2');d) вытравливают рисунок (4) в подложке (2, 2') для образования составной компенсационной балансирной пружины (31, 41), включающей в себя первую толщину (E) первого материала и по меньшей мере вторую толщину (E, E') по меньшей мере второго материала;e) высвобождают составную компенсационную балансирную пружину (31, 41) из подложки (2, 2').2. Способ изготовления составной компенсационной балансирной пружины (31, 41), содержащий следующие этапы, на которых:a) берут первую пластину (11), выполненную из первого материала;b) берут по меньшей мере вторую пластину (13, 13'), выполненную из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) имеют противоположный знак относительно изменений модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) первого материала;d') вытравливают идентичные рисунки (14, 16, 16') в каждой из пластин (13, 11, 13');с') соединяют первую пластину (11) с по меньшей мере одной второй пластиной (13, 13') для образования подложки (12, 12') и путем совмещения одинаковых рисунков (14, 16, 16') образуют составную компенсационную балансирную пружину (31, 41), включающую в себя первую толщину (E) первого материала и по меньшей мере вторую толщину (E, E') по меньшей мере второго